સેમીસેરાસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક કોટિંગઅત્યંત સખત અને વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સામગ્રીથી બનેલું ઉચ્ચ-પ્રદર્શન રક્ષણાત્મક કોટિંગ છે. કોટિંગ સામાન્ય રીતે સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર CVD અથવા PVD પ્રક્રિયા દ્વારા જમા કરવામાં આવે છેસિલિકોન કાર્બાઇડ કણો, ઉત્તમ રાસાયણિક કાટ પ્રતિકાર અને ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. તેથી, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોના મુખ્ય ઘટકોમાં સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક કોટિંગનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં,SiC કોટિંગ1600 ડિગ્રી સેલ્સિયસ સુધીના અત્યંત ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરી શકે છે, તેથી સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક કોટિંગનો ઉપયોગ ઘણીવાર ઉચ્ચ તાપમાન અથવા કાટ લાગતા વાતાવરણમાં થતા નુકસાનને રોકવા માટે સાધનો અથવા સાધનો માટે રક્ષણાત્મક સ્તર તરીકે થાય છે.
તે જ સમયે,સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક કોટિંગએસિડ, આલ્કલીસ, ઓક્સાઇડ અને અન્ય રાસાયણિક રીએજન્ટ્સના ધોવાણનો પ્રતિકાર કરી શકે છે અને વિવિધ રાસાયણિક પદાર્થો માટે ઉચ્ચ કાટ પ્રતિકાર ધરાવે છે. તેથી, આ ઉત્પાદન સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં વિવિધ સડો કરતા વાતાવરણ માટે યોગ્ય છે.
વધુમાં, અન્ય સિરામિક સામગ્રીની તુલનામાં, SiC ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા ધરાવે છે અને અસરકારક રીતે ગરમીનું સંચાલન કરી શકે છે. આ લક્ષણ નિર્ધારિત કરે છે કે સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં કે જેને ચોક્કસ તાપમાન નિયંત્રણની જરૂર હોય છે, તેની ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતાસિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક કોટિંગગરમીને સમાનરૂપે વિખેરવામાં, સ્થાનિક ઓવરહિટીંગને રોકવામાં અને ઉપકરણ શ્રેષ્ઠ તાપમાન પર કાર્ય કરે છે તેની ખાતરી કરવામાં મદદ કરે છે.
| CVD sic કોટિંગના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| મિલકત | લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર | FCC β તબક્કો પોલિક્રિસ્ટલાઇન, મુખ્યત્વે (111) લક્ષી |
| ઘનતા | 3.21 ગ્રામ/સેમી³ |
| કઠિનતા | 2500 વિકર્સ કઠિનતા (500 ગ્રામ લોડ) |
| અનાજનું કદ | 2~10μm |
| રાસાયણિક શુદ્ધતા | 99.99995% |
| ગરમી ક્ષમતા | 640 J·kg-1· કે-1 |
| સબલાઈમેશન તાપમાન | 2700℃ |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | 415 MPa RT 4-પોઇન્ટ |
| યંગનું મોડ્યુલસ | 430 Gpa 4pt બેન્ડ, 1300℃ |
| થર્મલ વાહકતા | 300W·m-1· કે-1 |
| થર્મલ વિસ્તરણ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
