SiC વેફર બોટ
સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર બોટવેફર્સ માટે લોડ-બેરિંગ ઉપકરણ છે, જે મુખ્યત્વે સૌર અને સેમિકન્ડક્ટર પ્રસરણ પ્રક્રિયાઓમાં વપરાય છે.તેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રભાવ પ્રતિકાર, પ્લાઝ્મા બોમ્બાર્ડમેન્ટ સામે પ્રતિકાર, ઉચ્ચ તાપમાન સહન કરવાની ક્ષમતા, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, ઉચ્ચ ગરમીનું વિસર્જન અને લાંબા ગાળાના ઉપયોગ જેવી લાક્ષણિકતાઓ છે જે વાળવું અને વિકૃત કરવું સરળ નથી.સેવા જીવન સુનિશ્ચિત કરવા અમારી કંપની ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ સામગ્રીનો ઉપયોગ કરે છે અને સહિત કસ્ટમાઇઝ્ડ ડિઝાઇન પ્રદાન કરે છે.વિવિધ ઊભી અને આડીવેફર બોટ.
SiC ચપ્પુ
આસિલિકોન કાર્બાઇડ કેન્ટીલીવર પેડલતેનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે સિલિકોન વેફર્સના (પ્રસરણ) કોટિંગમાં થાય છે, જે ઊંચા તાપમાને સિલિકોન વેફરના લોડિંગ અને પરિવહનમાં નિર્ણાયક ભૂમિકા ભજવે છે.તે એક મુખ્ય ઘટક છેસેમિકન્ડક્ટર વેફરલોડિંગ સિસ્ટમ્સ અને નીચેની મુખ્ય લાક્ષણિકતાઓ ધરાવે છે:
1. તે ઊંચા તાપમાનના વાતાવરણમાં વિકૃત થતું નથી અને વેફર્સ પર તેનું લોડિંગ બળ વધારે હોય છે;
2. તે ભારે ઠંડી અને ઝડપી ગરમી માટે પ્રતિરોધક છે, અને તેની લાંબી સેવા જીવન છે;
3. થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક નાનો છે, જે જાળવણી અને સફાઈ ચક્રને મોટા પ્રમાણમાં વિસ્તરે છે અને પ્રદૂષકોને નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડે છે.
SiC ફર્નેસ ટ્યુબ
સિલિકોન કાર્બાઇડ પ્રક્રિયા ટ્યુબ, ધાતુની અશુદ્ધિઓ વિના ઉચ્ચ-શુદ્ધતા SiC થી બનેલું, વેફરને પ્રદૂષિત કરતું નથી, અને સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક પ્રસરણ, એનેલીંગ અને ઓક્સિડેશન પ્રક્રિયા જેવી પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય છે.
SiC રોબોટ આર્મ
SiC રોબોટ હાથ, જેને વેફર ટ્રાન્સફર એન્ડ ઇફેક્ટર તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે એક રોબોટિક હાથ છે જેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર વેફરના પરિવહન માટે થાય છે અને તેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર, ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક અને સૌર ઉર્જા ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે થાય છે.ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડનો ઉપયોગ કરીને, ઉચ્ચ કઠિનતા સાથે, વસ્ત્રો પ્રતિકાર, ધરતીકંપ પ્રતિકાર, વિકૃતિ વિના લાંબા ગાળાનો ઉપયોગ, લાંબી સેવા જીવન, વગેરે, કસ્ટમાઇઝ સેવાઓ પ્રદાન કરી શકે છે.
સ્ફટિક વૃદ્ધિ માટે ગ્રેફાઇટ
ગ્રેફાઇટ હીટ કવચ
ગ્રેફાઇટ ઇલેક્ટ્રોડ ટ્યુબ
ગ્રેફાઇટ ડિફ્લેક્ટર
ગ્રેફાઇટ ચક
સેમિકન્ડક્ટર ક્ર્વસ્ટાલ્સ ઉગાડવા માટે વપરાતી તમામ પ્રક્રિયાઓ ઉચ્ચ-તાપમાન અને ક્ષતિગ્રસ્ત વાતાવરણમાં કાર્ય કરે છે.ક્રિસ્ટલ ગ્રોથ ફર્નેસનો ગરમ ઝોન સામાન્ય રીતે ગરમી-પ્રતિરોધક અને કાટ-પ્રતિરોધક ઉચ્ચ શુદ્ધતા સાથે રચાયેલ છે.ગ્રેફાઇટ ઘટકો, જેમ કે ગ્રેફાઇટ હીટર, ક્રુસિબલ્સ, સિલિન્ડરો, ડિફ્લેક્ટર, ચક, ટ્યુબ, રિંગ્સ, ધારકો, બદામ, વગેરે અમારી ફિનિશ્ડ પ્રોડક્ટ 5ppm કરતા ઓછી રાખની સામગ્રી પ્રાપ્ત કરી શકે છે.
સેમિડોન્ડક્ટર એપિટેક્સી માટે ગ્રેફાઇટ
ગ્રેફાઇટ બેઝ
ગ્રેફાઇટ એપિટેક્સિયલ બેરલ
મોનોક્રી સ્ટેલાઇન સિલિકોન એપિટેક્સિયલ બેઝ
MOCVD ગ્રેફાઇટ ભાગો
સેમિકન્ડક્ટર ગ્રેફાઇટ ફિક્સ્ચર
એપિટેક્સિયલ પ્રક્રિયા એ એક જ ક્રિસ્ટલ સબસ્ટ્રેટ પર એક જ સ્ફટિક સામગ્રીની વૃદ્ધિનો સંદર્ભ આપે છે જેમાં સબસ્ટ્રેટની સમાન જાળી ગોઠવણી હોય છે.તેને ઘણા અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગ્રેફાઇટ ભાગો અને SIC કોટિંગ સાથે ગ્રેફાઇટ આધારની જરૂર છે.સેમિકન્ડક્ટર એપિટેક્સી માટે ઉપયોગમાં લેવાતા ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટમાં વિશાળ શ્રેણીના એપ્લીકેશન છે, જે ઉદ્યોગમાં સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતા સાધનો સાથે મેળ ખાય છે, તે જ સમયે, તે અત્યંત ઊંચી છે.શુદ્ધતા, સમાન કોટિંગ, ઉત્તમ સેવા જીવન અને અત્યંત ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા.
ઇન્સ્યુલેશન સામગ્રી અને અન્ય
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં વપરાતી થર્મલ ઇન્સ્યુલેશન સામગ્રી ગ્રેફાઇટ હાર્ડ ફીલ, સોફ્ટ ફીલ, ગ્રેફાઇટ ફોઇલ, કાર્બન કમ્પોઝીટ મટીરીયલ્સ વગેરે છે. અમારી કાચી સામગ્રી આયાતી ગ્રેફાઇટ સામગ્રી છે, જે ગ્રાહકોના સ્પષ્ટીકરણ અનુસાર કાપી શકાય છે, અને વેચાણ પણ કરી શકાય છે. સમગ્રકાર્બન સંયુક્ત સામગ્રીનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે સૌર મોનોક્રિસ્ટલ અને પોલિસિલિકન સેલ ઉત્પાદન પ્રક્રિયા માટે વાહક તરીકે થાય છે.