વેફર હેન્ડલિંગ હાથહેન્ડલ, ટ્રાન્સફર અને પોઝિશન માટે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વપરાતું મુખ્ય સાધન છેવેફર્સ. તેમાં સામાન્ય રીતે રોબોટિક આર્મ, ગ્રિપર અને કંટ્રોલ સિસ્ટમ હોય છે, જેમાં ચોક્કસ હિલચાલ અને સ્થિતિની ક્ષમતા હોય છે.વેફર હેન્ડલિંગ હથિયારોસેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં વિવિધ લિંક્સમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, જેમાં વેફર લોડિંગ, ક્લિનિંગ, થિન ફિલ્મ ડિપોઝિશન, એચિંગ, લિથોગ્રાફી અને ઇન્સ્પેક્શન જેવા પ્રોસેસ સ્ટેપ્સનો સમાવેશ થાય છે. તેની ચોકસાઇ, વિશ્વસનીયતા અને ઓટોમેશન ક્ષમતાઓ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની ગુણવત્તા, કાર્યક્ષમતા અને સુસંગતતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે જરૂરી છે.
વેફર હેન્ડલિંગ હાથના મુખ્ય કાર્યોમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:
1. વેફર ટ્રાન્સફર: વેફર હેન્ડલિંગ આર્મ વેફરને એક સ્થાનથી બીજા સ્થાને ચોક્કસ રીતે સ્થાનાંતરિત કરવામાં સક્ષમ છે, જેમ કે સ્ટોરેજ રેકમાંથી વેફર્સ લેવા અને તેને પ્રોસેસિંગ ડિવાઇસમાં મૂકવા.
2. પોઝિશનિંગ અને ઓરિએન્ટેશન: વેફર હેન્ડલિંગ આર્મ યોગ્ય ગોઠવણી અને અનુગામી પ્રક્રિયા અથવા માપન કામગીરી માટે યોગ્ય ગોઠવણી અને સ્થિતિને સુનિશ્ચિત કરવા માટે વેફરને સચોટ રીતે સ્થિત અને દિશામાન કરવામાં સક્ષમ છે.
3. ક્લેમ્પિંગ અને રીલીઝિંગ: વેફર હેન્ડલિંગ આર્મ્સ સામાન્ય રીતે ગ્રિપર્સથી સજ્જ હોય છે જે વેફરને સુરક્ષિત રીતે ક્લેમ્પ કરી શકે છે અને વેફરના સુરક્ષિત ટ્રાન્સફર અને હેન્ડલિંગને સુનિશ્ચિત કરવા માટે જ્યારે જરૂર પડે ત્યારે તેને મુક્ત કરી શકે છે.
4. ઓટોમેટેડ કંટ્રોલ: વેફર હેન્ડલિંગ આર્મ એડવાન્સ કંટ્રોલ સિસ્ટમથી સજ્જ છે જે આપમેળે પૂર્વનિર્ધારિત એક્શન સિક્વન્સ ચલાવી શકે છે, ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરી શકે છે અને માનવીય ભૂલોને ઘટાડી શકે છે.
લાક્ષણિકતાઓ અને ફાયદા
1.ચોક્કસ પરિમાણો અને થર્મલ સ્થિરતા.
2.ઉચ્ચ ચોક્કસ જડતા અને ઉત્કૃષ્ટ થર્મલ એકરૂપતા, લાંબા ગાળાના ઉપયોગથી વિકૃતિને વાળવું સરળ નથી.
3.તેની સપાટી સરળ અને સારી વસ્ત્રો પ્રતિકાર ધરાવે છે, આમ કણોના દૂષણ વિના ચિપને સુરક્ષિત રીતે હેન્ડલ કરે છે.
4. 106-108Ω માં સિલિકોન કાર્બાઇડ પ્રતિકારકતા, બિન-ચુંબકીય, વિરોધી ESD સ્પષ્ટીકરણ આવશ્યકતાઓ અનુસાર; તે ચિપની સપાટી પર સ્થિર વીજળીના સંચયને અટકાવી શકે છે.
5.સારી થર્મલ વાહકતા, નીચા વિસ્તરણ ગુણાંક.
