સેમિસેરાનુંવેફર કેસેટસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં એક મહત્વપૂર્ણ ઘટક છે, જે નાજુક સેમિકન્ડક્ટર વેફર્સને સુરક્ષિત રીતે પકડી રાખવા અને પરિવહન કરવા માટે રચાયેલ છે. આવેફર કેસેટઅસાધારણ રક્ષણ પૂરું પાડે છે, સુનિશ્ચિત કરે છે કે દરેક વેફરને હેન્ડલિંગ, સંગ્રહ અને પરિવહન દરમિયાન દૂષણો અને ભૌતિક નુકસાનથી મુક્ત રાખવામાં આવે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, રાસાયણિક-પ્રતિરોધક સામગ્રી, સેમિસેરા સાથે બાંધવામાં આવે છેવેફર કેસેટઉત્પાદનના દરેક તબક્કે વેફર્સની અખંડિતતા જાળવવા માટે જરૂરી સ્વચ્છતા અને ટકાઉપણાના ઉચ્ચ સ્તરની બાંયધરી આપે છે. આ કેસેટોનું ચોકસાઇ એન્જિનિયરિંગ દૂષણ અને યાંત્રિક નુકસાનના જોખમને ઓછું કરીને, સ્વયંસંચાલિત હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ સાથે સીમલેસ એકીકરણ માટે પરવાનગી આપે છે.
ની ડિઝાઇનવેફર કેસેટશ્રેષ્ઠ હવાના પ્રવાહ અને તાપમાન નિયંત્રણને પણ સમર્થન આપે છે, જે ચોક્કસ પર્યાવરણીય પરિસ્થિતિઓની જરૂર હોય તેવી પ્રક્રિયાઓ માટે નિર્ણાયક છે. ક્લીનરૂમમાં અથવા થર્મલ પ્રોસેસિંગ દરમિયાન ઉપયોગ થાય છે, સેમિસેરાવેફર કેસેટસેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગની કડક માંગને પહોંચી વળવા માટે એન્જિનિયર્ડ છે, ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા અને ઉત્પાદનની ગુણવત્તા વધારવા માટે વિશ્વસનીય અને સુસંગત કામગીરી પ્રદાન કરે છે.
| વસ્તુઓ | ઉત્પાદન | સંશોધન | ડમી |
| ક્રિસ્ટલ પરિમાણો | |||
| પોલીટાઈપ | 4H | ||
| સપાટી ઓરિએન્ટેશન ભૂલ | <11-20 >4±0.15° | ||
| વિદ્યુત પરિમાણો | |||
| ડોપન્ટ | n-પ્રકાર નાઇટ્રોજન | ||
| પ્રતિકારકતા | 0.015-0.025ઓહ્મ સેમી | ||
| યાંત્રિક પરિમાણો | |||
| વ્યાસ | 150.0±0.2mm | ||
| જાડાઈ | 350±25 μm | ||
| પ્રાથમિક ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન | [1-100]±5° | ||
| પ્રાથમિક સપાટ લંબાઈ | 47.5±1.5mm | ||
| માધ્યમિક ફ્લેટ | કોઈ નહિ | ||
| ટીટીવી | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| નમન | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| વાર્પ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ફ્રન્ટ (સી-ફેસ) રફનેસ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| માળખું | |||
| માઇક્રોપાઇપ ઘનતા | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ધાતુની અશુદ્ધિઓ | ≤5E10 પરમાણુ/cm2 | NA | |
| બીપીડી | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ટીએસડી | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| ફ્રન્ટ ગુણવત્તા | |||
| આગળ | Si | ||
| સપાટી પૂર્ણાહુતિ | સી-ફેસ CMP | ||
| કણો | ≤60ea/વેફર (size≥0.3μm) | NA | |
| સ્ક્રેચેસ | ≤5ea/mm સંચિત લંબાઈ ≤ વ્યાસ | સંચિત લંબાઈ≤2*વ્યાસ | NA |
| નારંગીની છાલ/ખાડા/ડાઘા/ધડાકા/તિરાડો/દૂષણ | કોઈ નહિ | NA | |
| એજ ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ્સ/ફ્રેક્ચર/હેક્સ પ્લેટ્સ | કોઈ નહિ | ||
| પોલીટાઈપ વિસ્તારો | કોઈ નહિ | સંચિત વિસ્તાર≤20% | સંચિત વિસ્તાર≤30% |
| ફ્રન્ટ લેસર માર્કિંગ | કોઈ નહિ | ||
| પાછા ગુણવત્તા | |||
| પાછા સમાપ્ત | સી-ફેસ CMP | ||
| સ્ક્રેચેસ | ≤5ea/mm, સંચિત લંબાઈ≤2*વ્યાસ | NA | |
| પાછળની ખામી (એજ ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ) | કોઈ નહિ | ||
| પાછળની ખરબચડી | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| પાછળ લેસર માર્કિંગ | 1 મીમી (ઉપરની ધારથી) | ||
| એજ | |||
| એજ | ચેમ્ફર | ||
| પેકેજિંગ | |||
| પેકેજિંગ | વેક્યૂમ પેકેજિંગ સાથે એપી-તૈયાર મલ્ટી-વેફર કેસેટ પેકેજિંગ | ||
| *નોંધ: "NA" નો અર્થ છે કોઈ વિનંતી નહીં ઉલ્લેખિત વસ્તુઓ SEMI-STD નો સંદર્ભ લઈ શકે છે. | |||
