સેમિસેરા વિવિધ ઘટકો અને વાહકો માટે વિશિષ્ટ ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ (TaC) કોટિંગ પ્રદાન કરે છે.સેમિસેરા અગ્રણી કોટિંગ પ્રક્રિયા ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ (TaC) કોટિંગ્સને ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા અને ઉચ્ચ રાસાયણિક સહિષ્ણુતા પ્રાપ્ત કરવા સક્ષમ બનાવે છે, SIC/GAN ક્રિસ્ટલ્સ અને EPI સ્તરોની ઉત્પાદન ગુણવત્તામાં સુધારો કરે છે (ગ્રેફાઇટ કોટેડ TaC સસેપ્ટર), અને મુખ્ય રિએક્ટર ઘટકોનું જીવન લંબાવવું. ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ TaC કોટિંગનો ઉપયોગ એજ પ્રોબ્લેમને ઉકેલવા અને ક્રિસ્ટલ ગ્રોથની ગુણવત્તામાં સુધારો કરવા માટે છે અને સેમિસેરાએ ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટિંગ ટેક્નોલોજી (CVD) ને આંતરરાષ્ટ્રીય અદ્યતન સ્તરે પહોંચાડી સફળતા મેળવી છે.
ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટેડ વેફર કેરિયર્સ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં વેફર પ્રોસેસિંગ અને હેન્ડલિંગ પ્રક્રિયાઓમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે. ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફર્સની સલામતી, ચોકસાઈ અને સુસંગતતાની ખાતરી કરવા માટે તેઓ સ્થિર સમર્થન અને રક્ષણ પૂરું પાડે છે. ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટિંગ્સ વાહકની સેવા જીવનને વિસ્તૃત કરી શકે છે, ખર્ચ ઘટાડી શકે છે અને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનોની ગુણવત્તા અને વિશ્વસનીયતામાં સુધારો કરી શકે છે.
ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટેડ વેફર કેરિયરનું વર્ણન નીચે મુજબ છે:
1. સામગ્રીની પસંદગી: ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ ઉત્તમ કામગીરી, ઉચ્ચ કઠિનતા, ઉચ્ચ ગલનબિંદુ, કાટ પ્રતિકાર અને ઉત્તમ યાંત્રિક ગુણધર્મો ધરાવતી સામગ્રી છે, તેથી તેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વ્યાપકપણે થાય છે.
2. સરફેસ કોટિંગ: ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટિંગ એક સમાન અને ગાઢ ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટિંગ બનાવવા માટે ખાસ કોટિંગ પ્રક્રિયા દ્વારા વેફર કેરિયરની સપાટી પર લાગુ કરવામાં આવે છે. આ કોટિંગ સારી થર્મલ વાહકતા સાથે વધારાની સુરક્ષા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર પ્રદાન કરી શકે છે.
3. સપાટતા અને ચોકસાઇ: ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટેડ વેફર કેરિયરમાં ઉચ્ચ સ્તરની સપાટતા અને ચોકસાઇ હોય છે, જે ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફર્સની સ્થિરતા અને ચોકસાઈને સુનિશ્ચિત કરે છે. વેફરની ગુણવત્તા અને કામગીરી સુનિશ્ચિત કરવા માટે વાહક સપાટીની સપાટતા અને પૂર્ણાહુતિ મહત્વપૂર્ણ છે.
4. તાપમાન સ્થિરતા: ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટેડ વેફર કેરિયર્સ ઉચ્ચ તાપમાનના વાતાવરણમાં વિરૂપતા અથવા ઢીલું કર્યા વિના સ્થિરતા જાળવી શકે છે, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રક્રિયાઓમાં વેફરની સ્થિરતા અને સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરે છે.
5. કાટ પ્રતિકાર: ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ કોટિંગ્સમાં ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર હોય છે, તે રસાયણો અને દ્રાવકોના ધોવાણનો પ્રતિકાર કરી શકે છે અને વાહકને પ્રવાહી અને ગેસના કાટથી સુરક્ષિત કરી શકે છે.
TaC સાથે અને વગર
TaC (જમણે) નો ઉપયોગ કર્યા પછી
તદુપરાંત, સેમિસેરાનાTaC-કોટેડ ઉત્પાદનોની તુલનામાં લાંબી સેવા જીવન અને વધુ ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રતિકાર દર્શાવે છેSiC કોટિંગ્સ.પ્રયોગશાળાના માપન દર્શાવે છે કે અમારાTaC કોટિંગ્સલાંબા સમય સુધી 2300 ડિગ્રી સેલ્સિયસ સુધીના તાપમાને સતત કાર્ય કરી શકે છે. નીચે અમારા નમૂનાઓના કેટલાક ઉદાહરણો છે:
