ઉત્પાદન ઝાંખી
આસિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) પેડલ અને વેફર કેરિયરસેમિકન્ડક્ટર થર્મલ પ્રોસેસિંગ એપ્લીકેશનની માગણી જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે એન્જિનિયર્ડ છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા SiC માંથી બનાવેલ અને સિલિકોન ગર્ભાધાન દ્વારા ઉન્નત બનાવેલ, આ ઉત્પાદન ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રદર્શન, ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા, કાટ પ્રતિકાર અને ઉત્કૃષ્ટ યાંત્રિક શક્તિનું અનન્ય સંયોજન પ્રદાન કરે છે.
અદ્યતન સામગ્રી વિજ્ઞાનને ચોકસાઇ ઉત્પાદન સાથે સંકલિત કરીને, આ સોલ્યુશન સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદકો માટે શ્રેષ્ઠ કામગીરી, વિશ્વસનીયતા અને ટકાઉપણાની ખાતરી કરે છે.
મુખ્ય લક્ષણો
1.અસાધારણ ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રતિકાર
ગલનબિંદુ 2700 °C થી વધુ હોવા સાથે, SiC સામગ્રી ભારે ગરમીમાં સ્વાભાવિક રીતે સ્થિર હોય છે. સિલિકોન ગર્ભાધાન તેમની થર્મલ સ્થિરતામાં વધુ વધારો કરે છે, જે તેમને માળખાકીય નબળાઈ અથવા પ્રભાવમાં ઘટાડો કર્યા વિના લાંબા સમય સુધી ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરવા દે છે.
2.સુપિરિયર થર્મલ વાહકતા
સિલિકોન-ઇમ્પ્રિગ્નેટેડ SiC ની અસાધારણ થર્મલ વાહકતા એકસમાન ગરમીનું વિતરણ સુનિશ્ચિત કરે છે, જટિલ પ્રક્રિયાના તબક્કા દરમિયાન થર્મલ તણાવ ઘટાડે છે. આ ગુણધર્મ સાધનોના જીવનકાળને લંબાવે છે અને ઉત્પાદનનો ડાઉનટાઇમ ઘટાડે છે, જે તેને ઉચ્ચ-તાપમાન થર્મલ પ્રોસેસિંગ માટે આદર્શ બનાવે છે.
3.ઓક્સિડેશન અને કાટ પ્રતિકાર
એક મજબૂત સિલિકોન ઓક્સાઇડ સ્તર કુદરતી રીતે સપાટી પર રચાય છે, જે ઓક્સિડેશન અને કાટ સામે ઉત્કૃષ્ટ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. આ કઠોર ઓપરેટિંગ વાતાવરણમાં લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરે છે, સામગ્રી અને આસપાસના ઘટકો બંનેનું રક્ષણ કરે છે.
4.ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર
સિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ SiC ઉત્તમ સંકુચિત શક્તિ અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર ધરાવે છે, ઉચ્ચ-લોડ, ઉચ્ચ-તાપમાનની સ્થિતિમાં તેની માળખાકીય અખંડિતતાને જાળવી રાખે છે. આ વસ્ત્રો-સંબંધિત નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે, વિસ્તૃત ઉપયોગ ચક્ર પર સુસંગત કામગીરીની ખાતરી કરે છે.
વિશિષ્ટતાઓ
| ઉત્પાદન નામ | SC-RSiC-Si |
| સામગ્રી | સિલિકોન ગર્ભાધાન સિલિકોન કાર્બાઇડ કોમ્પેક્ટ (ઉચ્ચ શુદ્ધતા) |
| અરજીઓ | સેમિકન્ડક્ટર હીટ ટ્રીટમેન્ટ પાર્ટ્સ, સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ ઇક્વિપમેન્ટ પાર્ટ્સ |
| ડિલિવરી ફોર્મ | મોલ્ડેડ બોડી (સિન્ટર્ડ બોડી) |
| રચના | યાંત્રિક મિલકત | યંગ્સ મોડ્યુલસ (GPa) | બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ (MPa) | ||
| રચના (વોલ્યુમ%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| બલ્ક ઘનતા (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| હીટપ્રૂફ તાપમાન °C | 1350 | પોઈસનનો ગુણોત્તર | 0.18(RT) | ||
| થર્મલ પ્રોપર્ટી | થર્મલ વાહકતા (W/(m· K)) | ચોક્કસ ગરમી ક્ષમતા (kJ/(kg·K)) | થર્મલ વિસ્તરણના ગુણાંક (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4.3 x10-6 | |
| અશુદ્ધિ સામગ્રી ((ppm) | |||||||||||||
| તત્વ | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| સામગ્રી દર | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
અરજીઓ
▪સેમિકન્ડક્ટર થર્મલ પ્રોસેસિંગ:રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (CVD), એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ અને એનિલિંગ જેવી પ્રક્રિયાઓ માટે આદર્શ છે, જ્યાં ચોક્કસ તાપમાન નિયંત્રણ અને સામગ્રી ટકાઉપણું મહત્વપૂર્ણ છે.
▪વેફર કેરિયર્સ અને પેડલ્સ:ઉચ્ચ-તાપમાન થર્મલ સારવાર દરમિયાન વેફર્સને સુરક્ષિત રીતે પકડી રાખવા અને પરિવહન કરવા માટે રચાયેલ છે.
▪એક્સ્ટ્રીમ ઓપરેટિંગ વાતાવરણ: ગરમી, રાસાયણિક એક્સપોઝર અને યાંત્રિક તાણ સામે પ્રતિકારની જરૂર હોય તેવા સેટિંગ્સ માટે યોગ્ય.
સિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ SiC ના ફાયદા
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ અને અદ્યતન સિલિકોન ગર્ભાધાન તકનીકનું સંયોજન અપ્રતિમ પ્રદર્શન લાભો પહોંચાડે છે:
▪ચોકસાઇ:સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગની ચોકસાઈ અને નિયંત્રણને વધારે છે.
▪સ્થિરતા:કાર્યક્ષમતા સાથે સમાધાન કર્યા વિના કઠોર વાતાવરણનો સામનો કરે છે.
▪આયુષ્ય:સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ સાધનોની સેવા જીવનને વિસ્તૃત કરે છે.
▪કાર્યક્ષમતા:વિશ્વસનીય અને સુસંગત પરિણામોની ખાતરી કરીને ઉત્પાદકતામાં સુધારો કરે છે.
અમારા સિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ SiC સોલ્યુશન્સ શા માટે પસંદ કરો?
At સેમીસેરા, અમે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદકોની જરૂરિયાતોને અનુરૂપ ઉચ્ચ-પ્રદર્શન સોલ્યુશન્સ પ્રદાન કરવામાં નિષ્ણાત છીએ. અમારા સિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ પેડલ અને વેફર કેરિયર ઉદ્યોગના ધોરણોને પૂર્ણ કરવા માટે સખત પરીક્ષણ અને ગુણવત્તાની ખાતરીમાંથી પસાર થાય છે. સેમિસેરા પસંદ કરીને, તમે તમારી ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવા અને તમારી ઉત્પાદન ક્ષમતાઓને વધારવા માટે રચાયેલ અદ્યતન સામગ્રીની ઍક્સેસ મેળવો છો.
ટેકનિકલ વિશિષ્ટતાઓ
▪સામગ્રીની રચના:સિલિકોન ગર્ભાધાન સાથે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ.
▪ઓપરેટિંગ તાપમાન શ્રેણી:2700°C સુધી.
▪ થર્મલ વાહકતા:સમાન ગરમી વિતરણ માટે અપવાદરૂપે ઉચ્ચ.
▪પ્રતિકાર ગુણધર્મો:ઓક્સિડેશન, કાટ અને વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક.
▪એપ્લિકેશન્સ:વિવિધ સેમિકન્ડક્ટર થર્મલ પ્રોસેસિંગ સિસ્ટમ્સ સાથે સુસંગત.
અમારો સંપર્ક કરો
તમારી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાને વધારવા માટે તૈયાર છો? સંપર્ક કરોસેમીસેરાઆજે અમારા સિલિકોન-ઇમ્પ્રેગ્નેટેડ સિલિકોન કાર્બાઇડ પેડલ અને વેફર કેરિયર વિશે વધુ જાણવા માટે.
▪ઈમેલ: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪ફોન: +86-0574-8650 3783
▪સ્થાન:નં.1958 જિઆંગનાન રોડ, નિંગબો હાઇ ટેક, ઝોન, ઝેજિયાંગ પ્રાંત, 315201, ચીન
