વર્ણન
અમારી કંપની પૂરી પાડે છેSiC કોટિંગગ્રેફાઇટ, સિરામિક્સ અને અન્ય સામગ્રીની સપાટી પર CVD પદ્ધતિ દ્વારા પ્રક્રિયા સેવાઓ, જેથી કાર્બન અને સિલિકોન ધરાવતા વિશિષ્ટ વાયુઓ ઉચ્ચ તાપમાને પ્રતિક્રિયા આપીને ઉચ્ચ શુદ્ધતાના SiC પરમાણુઓ, અણુઓની સપાટી પર જમા થાય છે.કોટેડસામગ્રી, SIC રક્ષણાત્મક સ્તર બનાવે છે.
SiC શાવર હેડની લાક્ષણિકતાઓ નીચે મુજબ છે:
1. કાટ પ્રતિકાર: SiC સામગ્રીમાં ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર છે અને તે વિવિધ રાસાયણિક પ્રવાહી અને ઉકેલોના ધોવાણનો સામનો કરી શકે છે, અને વિવિધ રાસાયણિક પ્રક્રિયા અને સપાટીની સારવાર પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય છે.
2. ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા:SiC નોઝલઉચ્ચ તાપમાનના વાતાવરણમાં માળખાકીય સ્થિરતા જાળવી શકે છે અને ઉચ્ચ તાપમાનની સારવારની જરૂર હોય તેવા કાર્યક્રમો માટે યોગ્ય છે.
3. સમાન છંટકાવ:SiC નોઝલડિઝાઇનમાં સારી છંટકાવ નિયંત્રણ કામગીરી છે, જે સમાન પ્રવાહી વિતરણ પ્રાપ્ત કરી શકે છે અને ખાતરી કરે છે કે સારવાર પ્રવાહી લક્ષ્ય સપાટી પર સમાનરૂપે આવરી લેવામાં આવે છે.
4. ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર: SiC સામગ્રીમાં ઉચ્ચ કઠિનતા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર હોય છે અને તે લાંબા ગાળાના ઉપયોગ અને ઘર્ષણનો સામનો કરી શકે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, રાસાયણિક પ્રક્રિયા, સપાટી કોટિંગ, ઇલેક્ટ્રોપ્લેટિંગ અને અન્ય ઔદ્યોગિક ક્ષેત્રોમાં પ્રવાહી સારવાર પ્રક્રિયાઓમાં SiC શાવર હેડનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે. તે પ્રક્રિયા અને સારવારની ગુણવત્તા અને સુસંગતતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે સ્થિર, સમાન અને વિશ્વસનીય છંટકાવની અસરો પ્રદાન કરી શકે છે.
મુખ્ય લક્ષણો
1. ઉચ્ચ તાપમાન ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર:
જ્યારે તાપમાન 1600 સે જેટલું ઊંચું હોય ત્યારે ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર હજુ પણ ખૂબ જ સારો હોય છે.
2. ઉચ્ચ શુદ્ધતા: ઉચ્ચ તાપમાન ક્લોરીનેશનની સ્થિતિ હેઠળ રાસાયણિક વરાળના જથ્થા દ્વારા બનાવવામાં આવે છે.
3. ધોવાણ પ્રતિકાર: ઉચ્ચ કઠિનતા, કોમ્પેક્ટ સપાટી, દંડ કણો.
4. કાટ પ્રતિકાર: એસિડ, આલ્કલી, મીઠું અને કાર્બનિક રીએજન્ટ્સ.
CVD-SIC કોટિંગની મુખ્ય વિશિષ્ટતાઓ
| SiC-CVD ગુણધર્મો | ||
| ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર | FCC β તબક્કો | |
| ઘનતા | g/cm ³ | 3.21 |
| કઠિનતા | વિકર્સ કઠિનતા | 2500 |
| અનાજનું કદ | μm | 2~10 |
| રાસાયણિક શુદ્ધતા | % | 99.99995 |
| ગરમી ક્ષમતા | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| સબલાઈમેશન તાપમાન | ℃ | 2700 |
| ફેલેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | MPa (RT 4-પોઇન્ટ) | 415 |
| યંગનું મોડ્યુલસ | Gpa (4pt બેન્ડ, 1300℃) | 430 |
| થર્મલ વિસ્તરણ (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| થર્મલ વાહકતા | (W/mK) | 300 |
