સેમિસેરાSiC કેન્ટીલીવર વેફર પેડલઆધુનિક સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગની માંગને પહોંચી વળવા માટે રચાયેલ છે. આવેફર ચપ્પુઉત્તમ યાંત્રિક શક્તિ અને થર્મલ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે, જે ઉચ્ચ-તાપમાન વાતાવરણમાં વેફરને હેન્ડલ કરવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે.
SiC કેન્ટીલીવર ડિઝાઇન ચોક્કસ વેફર પ્લેસમેન્ટને સક્ષમ કરે છે, હેન્ડલિંગ દરમિયાન નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે. તેની ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા સુનિશ્ચિત કરે છે કે વેફર આત્યંતિક પરિસ્થિતિઓમાં પણ સ્થિર રહે છે, જે ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા જાળવવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે.
તેના માળખાકીય ફાયદાઓ ઉપરાંત, સેમિસેરાનાSiC કેન્ટીલીવર વેફર પેડલવજન અને ટકાઉપણામાં પણ ફાયદા આપે છે. હલકો બાંધકામ હાલની સિસ્ટમમાં હેન્ડલ કરવાનું અને એકીકૃત કરવાનું સરળ બનાવે છે, જ્યારે ઉચ્ચ ઘનતાવાળી SiC સામગ્રી માંગની પરિસ્થિતિઓમાં લાંબા સમય સુધી ટકી રહેવાની ખાતરી આપે છે.
| પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| મિલકત | લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| કાર્યકારી તાપમાન (°C) | 1600°C (ઓક્સિજન સાથે), 1700°C (વાતાવરણ ઘટાડવું) |
| SiC સામગ્રી | > 99.96% |
| મફત Si સામગ્રી | < 0.1% |
| બલ્ક ઘનતા | 2.60-2.70 ગ્રામ/સે.મી3 |
| દેખીતી છિદ્રાળુતા | < 16% |
| કમ્પ્રેશન તાકાત | > 600 MPa |
| કોલ્ડ બેન્ડિંગ તાકાત | 80-90 MPa (20°C) |
| ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | 90-100 MPa (1400°C) |
| થર્મલ વિસ્તરણ @1500°C | 4.70 10-6/°સે |
| થર્મલ વાહકતા @1200°C | 23 W/m•K |
| સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | 240 GPa |
| થર્મલ આંચકો પ્રતિકાર | અત્યંત સારું |
