CVD બલ્ક સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC)
વિહંગાવલોકન:સીવીડીબલ્ક સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC)પ્લાઝ્મા ઈચિંગ ઈક્વિપમેન્ટ, રેપિડ થર્મલ પ્રોસેસિંગ (RTP) એપ્લીકેશન્સ અને અન્ય સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાઓમાં ખૂબ જ જરૂરી સામગ્રી છે. તેના અસાધારણ યાંત્રિક, રાસાયણિક અને થર્મલ ગુણધર્મો તેને અદ્યતન તકનીકી એપ્લિકેશનો માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે જે ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને ટકાઉપણાની માંગ કરે છે.
CVD બલ્ક SiC ની અરજીઓ:બલ્ક SiC સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં નિર્ણાયક છે, ખાસ કરીને પ્લાઝ્મા એચિંગ સિસ્ટમ્સમાં, જ્યાં ફોકસ રિંગ્સ, ગેસ શાવરહેડ્સ, એજ રિંગ્સ અને પ્લેટન્સ જેવા ઘટકો SiCના ઉત્કૃષ્ટ કાટ પ્રતિકાર અને થર્મલ વાહકતાથી લાભ મેળવે છે. સુધી તેનો ઉપયોગ વિસ્તરે છેઆરટીપીનોંધપાત્ર અધોગતિ વિના ઝડપી તાપમાનના વધઘટનો સામનો કરવાની SiC ની ક્ષમતાને કારણે સિસ્ટમો.
એચીંગ સાધનો ઉપરાંત, સી.વી.ડીબલ્ક SiCપ્રસરણ ભઠ્ઠીઓ અને સ્ફટિક વૃદ્ધિ પ્રક્રિયાઓમાં તરફેણ કરવામાં આવે છે, જ્યાં ઉચ્ચ થર્મલ સ્થિરતા અને કઠોર રાસાયણિક વાતાવરણ સામે પ્રતિકાર જરૂરી છે. આ વિશેષતાઓ SiC ને ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટરોધક વાયુઓ, જેમ કે ક્લોરિન અને ફ્લોરિન ધરાવતી ઉચ્ચ-માગ એપ્લિકેશન માટે પસંદગીની સામગ્રી બનાવે છે.
CVD બલ્ક SiC ઘટકોના ફાયદા:
•ઉચ્ચ ઘનતા:3.2 g/cm³ ની ઘનતા સાથે,CVD બલ્ક SiCઘટકો વસ્ત્રો અને યાંત્રિક પ્રભાવ માટે અત્યંત પ્રતિરોધક છે.
•શ્રેષ્ઠ થર્મલ વાહકતા:300 W/m·K ની થર્મલ વાહકતા ઓફર કરીને, બલ્ક SiC અસરકારક રીતે ગરમીનું સંચાલન કરે છે, જે તેને અત્યંત થર્મલ ચક્રના સંપર્કમાં આવતા ઘટકો માટે આદર્શ બનાવે છે.
•અસાધારણ રાસાયણિક પ્રતિકાર:ક્લોરીન અને ફ્લોરિન-આધારિત રસાયણો સહિત એચીંગ વાયુઓ સાથે SiC ની ઓછી પ્રતિક્રિયાશીલતા લાંબા સમય સુધી ઘટક જીવનની ખાતરી આપે છે.
•એડજસ્ટેબલ પ્રતિકારકતા: CVD બલ્ક SiC'sપ્રતિકારકતાને 10⁻²–10⁴ Ω-cm ની રેન્જમાં કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે, જે તેને ચોક્કસ એચિંગ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન જરૂરિયાતોને અનુરૂપ બનાવે છે.
•થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C) ના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક સાથે, CVD બલ્ક SiC થર્મલ આંચકાનો પ્રતિકાર કરે છે, ઝડપી ગરમી અને ઠંડકના ચક્ર દરમિયાન પણ પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવી રાખે છે.
•પ્લાઝ્મામાં ટકાઉપણું:સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં પ્લાઝ્મા અને પ્રતિક્રિયાશીલ વાયુઓનો સંપર્ક અનિવાર્ય છે, પરંતુCVD બલ્ક SiCકાટ અને અધોગતિ માટે શ્રેષ્ઠ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે, રિપ્લેસમેન્ટ ફ્રીક્વન્સી અને એકંદર જાળવણી ખર્ચ ઘટાડે છે.
ટેકનિકલ વિશિષ્ટતાઓ:
•વ્યાસ:305 મીમી કરતા વધારે
•પ્રતિરોધકતા:10⁻²–10⁴ Ω-cm ની અંદર એડજસ્ટેબલ
•ઘનતા:3.2 g/cm³
•થર્મલ વાહકતા:300 W/m·K
•થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
કસ્ટમાઇઝેશન અને લવચીકતા:મુસેમીસેરા સેમિકન્ડક્ટર, અમે સમજીએ છીએ કે દરેક સેમિકન્ડક્ટર એપ્લિકેશનને વિવિધ વિશિષ્ટતાઓની જરૂર પડી શકે છે. એટલા માટે અમારા CVD બલ્ક SiC ઘટકો સંપૂર્ણપણે કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય તેવા છે, એડજસ્ટેબલ પ્રતિકારકતા અને તમારા સાધનોની જરૂરિયાતોને અનુરૂપ પરિમાણો સાથે. ભલે તમે તમારી પ્લાઝ્મા એચિંગ સિસ્ટમને ઑપ્ટિમાઇઝ કરી રહ્યાં હોવ અથવા RTP અથવા પ્રસરણ પ્રક્રિયાઓમાં ટકાઉ ઘટકો શોધી રહ્યાં હોવ, અમારું CVD બલ્ક SiC અપ્રતિમ પ્રદર્શન પ્રદાન કરે છે.
