સેમીસેરાઓફર કરવા માટે ઉત્સુક છેPFA કેસેટ, રાસાયણિક પ્રતિકાર અને ટકાઉપણું સર્વોપરી હોય તેવા વાતાવરણમાં વેફર હેન્ડલિંગ માટે પ્રીમિયમ પસંદગી. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પરફ્લુરોઆલ્કોક્સી (PFA) સામગ્રીમાંથી બનાવેલ, આ કેસેટ સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશનમાં સૌથી વધુ માંગવાળી પરિસ્થિતિઓનો સામનો કરવા માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવી છે, જે તમારા વેફર્સની સલામતી અને અખંડિતતાને સુનિશ્ચિત કરે છે.
મેળ ન ખાતી કેમિકલ પ્રતિકારઆPFA કેસેટરસાયણોની વિશાળ શ્રેણીને શ્રેષ્ઠ પ્રતિકાર પ્રદાન કરવા માટે એન્જિનિયર્ડ છે, જે આક્રમક એસિડ્સ, સોલવન્ટ્સ અને અન્ય કઠોર રસાયણોનો સમાવેશ કરતી પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય પસંદગી બનાવે છે. આ મજબૂત રાસાયણિક પ્રતિકાર સુનિશ્ચિત કરે છે કે કેસેટ અત્યંત કાટ લાગતા વાતાવરણમાં પણ અકબંધ અને કાર્યશીલ રહે છે, જેનાથી તેનું આયુષ્ય વધે છે અને વારંવાર બદલવાની જરૂરિયાત ઓછી થાય છે.
ઉચ્ચ શુદ્ધતા બાંધકામસેમિસેરાનુંPFA કેસેટઅલ્ટ્રા-પ્યોર પીએફએ સામગ્રીમાંથી બનાવવામાં આવે છે, જે વેફર પ્રોસેસિંગ દરમિયાન દૂષણને રોકવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે. આ ઉચ્ચ-શુદ્ધતાનું બાંધકામ કણોના ઉત્પાદન અને રાસાયણિક લીચિંગના જોખમને ઘટાડે છે, તે સુનિશ્ચિત કરે છે કે તમારી વેફર્સ અશુદ્ધિઓથી સુરક્ષિત છે જે તેમની ગુણવત્તા સાથે ચેડા કરી શકે છે.
ઉન્નત ટકાઉપણું અને પ્રદર્શનટકાઉપણું માટે રચાયેલ છેPFA કેસેટઆત્યંતિક તાપમાન અને સખત પ્રક્રિયાની પરિસ્થિતિઓમાં તેની માળખાકીય અખંડિતતાને જાળવી રાખે છે. ભલે તે ઊંચા તાપમાનના સંપર્કમાં હોય અથવા વારંવાર હેન્ડલિંગને આધિન હોય, આ કેસેટ તેના આકાર અને કાર્યક્ષમતાને જાળવી રાખે છે, માંગ ઉત્પાદન વાતાવરણમાં લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતા પ્રદાન કરે છે.
સુરક્ષિત હેન્ડલિંગ માટે ચોકસાઇ એન્જિનિયરિંગઆસેમિસેરા પીએફએ કેસેટચોક્કસ એન્જિનિયરિંગની સુવિધા આપે છે જે સુરક્ષિત અને સ્થિર વેફર હેન્ડલિંગની ખાતરી કરે છે. દરેક સ્લોટ કાળજીપૂર્વક વેફર્સને સુરક્ષિત રીતે સ્થાને રાખવા માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે, કોઈપણ હિલચાલ અથવા સ્થળાંતરને અટકાવે છે જે નુકસાનમાં પરિણમી શકે છે. આ ચોકસાઇ એન્જિનિયરિંગ એકંદર પ્રક્રિયા કાર્યક્ષમતામાં ફાળો આપીને સતત અને સચોટ વેફર પ્લેસમેન્ટને સપોર્ટ કરે છે.
પ્રક્રિયાઓમાં સર્વતોમુખી એપ્લિકેશનતેના શ્રેષ્ઠ સામગ્રી ગુણધર્મો માટે આભાર, ધPFA કેસેટસેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશનના વિવિધ તબક્કામાં ઉપયોગમાં લેવા માટે પર્યાપ્ત બહુમુખી છે. તે ખાસ કરીને વેટ ઈચિંગ, રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (CVD) અને અન્ય પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય છે જેમાં કઠોર રાસાયણિક વાતાવરણ સામેલ છે. તેની અનુકૂલનક્ષમતા તેને પ્રક્રિયાની અખંડિતતા અને વેફર ગુણવત્તા જાળવવા માટે એક આવશ્યક સાધન બનાવે છે.
ગુણવત્તા અને નવીનતા માટે પ્રતિબદ્ધતાસેમિસેરા ખાતે, અમે એવા ઉત્પાદનો પ્રદાન કરવા માટે પ્રતિબદ્ધ છીએ જે ઉચ્ચતમ ઉદ્યોગ ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે. આPFA કેસેટઆ પ્રતિબદ્ધતાનું ઉદાહરણ આપે છે, એક વિશ્વસનીય સોલ્યુશન ઓફર કરે છે જે તમારી મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાઓમાં એકીકૃત રીતે સંકલિત થાય છે. દરેક કેસેટ અમારા સખત પ્રદર્શન માપદંડોને પૂર્ણ કરે છે તેની ખાતરી કરવા માટે સખત ગુણવત્તા નિયંત્રણમાંથી પસાર થાય છે, તમે સેમિસેરા પાસેથી અપેક્ષા કરો છો તે શ્રેષ્ઠતા પ્રદાન કરે છે.
વસ્તુઓ | ઉત્પાદન | સંશોધન | ડમી |
ક્રિસ્ટલ પરિમાણો | |||
પોલીટાઈપ | 4H | ||
સપાટી ઓરિએન્ટેશન ભૂલ | <11-20 >4±0.15° | ||
વિદ્યુત પરિમાણો | |||
ડોપન્ટ | n-પ્રકાર નાઇટ્રોજન | ||
પ્રતિકારકતા | 0.015-0.025ઓહ્મ સેમી | ||
યાંત્રિક પરિમાણો | |||
વ્યાસ | 150.0±0.2mm | ||
જાડાઈ | 350±25 μm | ||
પ્રાથમિક ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન | [1-100]±5° | ||
પ્રાથમિક સપાટ લંબાઈ | 47.5±1.5mm | ||
માધ્યમિક ફ્લેટ | કોઈ નહિ | ||
ટીટીવી | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
નમન | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
વાર્પ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ફ્રન્ટ (સી-ફેસ) રફનેસ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
માળખું | |||
માઇક્રોપાઇપ ઘનતા | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
ધાતુની અશુદ્ધિઓ | ≤5E10 પરમાણુ/cm2 | NA | |
બીપીડી | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
ટીએસડી | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
ફ્રન્ટ ગુણવત્તા | |||
આગળ | Si | ||
સપાટી પૂર્ણાહુતિ | સી-ફેસ CMP | ||
કણો | ≤60ea/વેફર (size≥0.3μm) | NA | |
સ્ક્રેચેસ | ≤5ea/mm સંચિત લંબાઈ ≤ વ્યાસ | સંચિત લંબાઈ≤2*વ્યાસ | NA |
નારંગીની છાલ/ખાડા/ડાઘા/ધડાકા/તિરાડો/દૂષણ | કોઈ નહિ | NA | |
એજ ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ્સ/ફ્રેક્ચર/હેક્સ પ્લેટ્સ | કોઈ નહિ | ||
પોલીટાઈપ વિસ્તારો | કોઈ નહિ | સંચિત વિસ્તાર≤20% | સંચિત વિસ્તાર≤30% |
ફ્રન્ટ લેસર માર્કિંગ | કોઈ નહિ | ||
પાછા ગુણવત્તા | |||
પાછા સમાપ્ત | સી-ફેસ CMP | ||
સ્ક્રેચેસ | ≤5ea/mm, સંચિત લંબાઈ≤2*વ્યાસ | NA | |
પાછળની ખામી (એજ ચિપ્સ/ઇન્ડેન્ટ) | કોઈ નહિ | ||
પાછળની ખરબચડી | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
પાછળ લેસર માર્કિંગ | 1 મીમી (ઉપરની ધારથી) | ||
એજ | |||
એજ | ચેમ્ફર | ||
પેકેજિંગ | |||
પેકેજિંગ | વેક્યૂમ પેકેજિંગ સાથે એપી-તૈયાર મલ્ટી-વેફર કેસેટ પેકેજિંગ | ||
*નોંધ: "NA" નો અર્થ છે કોઈ વિનંતી નહીં ઉલ્લેખિત વસ્તુઓ SEMI-STD નો સંદર્ભ લઈ શકે છે. |