સિલિકોન કાર્બાઇડ (Ⅱ) ની રચના અને વૃદ્ધિ તકનીક

ચોથું, ભૌતિક વરાળ ટ્રાન્સફર પદ્ધતિ

ભૌતિક વરાળ પરિવહન (PVT) પદ્ધતિ 1955માં લેલી દ્વારા શોધાયેલી બાષ્પ તબક્કાની સબલાઈમેશન ટેક્નોલોજીમાંથી ઉદ્દભવી. SiC પાવડરને ગ્રેફાઈટ ટ્યુબમાં મુકવામાં આવે છે અને SiC પાવડરને વિઘટિત કરવા અને તેને ઉત્તેજિત કરવા માટે ઊંચા તાપમાને ગરમ કરવામાં આવે છે અને પછી ગ્રેફાઈટ ટ્યુબને ઠંડુ કરવામાં આવે છે.SiC પાવડરના વિઘટન પછી, બાષ્પ તબક્કાના ઘટકો ગ્રેફાઇટ ટ્યુબની આસપાસ SiC સ્ફટિકોમાં જમા થાય છે અને સ્ફટિકીકરણ થાય છે.જો કે આ પદ્ધતિ મોટા કદના SiC સિંગલ સ્ફટિકો મેળવવા મુશ્કેલ છે, અને ગ્રેફાઇટ ટ્યુબમાં જમા પ્રક્રિયાને નિયંત્રિત કરવી મુશ્કેલ છે, તે અનુગામી સંશોધકો માટે વિચારો પ્રદાન કરે છે.
Ym Terairov et al.રશિયામાં આ આધાર પર બીજ સ્ફટિકોની વિભાવના રજૂ કરી, અને બેકાબૂ સ્ફટિક આકાર અને SiC સ્ફટિકોની ન્યુક્લિએશન સ્થિતિની સમસ્યાને હલ કરી.અનુગામી સંશોધકોએ સુધારો કરવાનું ચાલુ રાખ્યું અને આખરે આજે ઔદ્યોગિક ઉપયોગમાં ભૌતિક ગેસ તબક્કા પરિવહન (PVT) પદ્ધતિ વિકસાવી.

પ્રારંભિક SiC ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ પદ્ધતિ તરીકે, ભૌતિક વરાળ ટ્રાન્સફર પદ્ધતિ એ SiC ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ માટે સૌથી મુખ્ય પ્રવાહની વૃદ્ધિ પદ્ધતિ છે.અન્ય પદ્ધતિઓની તુલનામાં, પદ્ધતિમાં વૃદ્ધિના સાધનો, સરળ વૃદ્ધિ પ્રક્રિયા, મજબૂત નિયંત્રણક્ષમતા, સંપૂર્ણ વિકાસ અને સંશોધન માટે ઓછી આવશ્યકતાઓ છે અને તે ઔદ્યોગિક ઉપયોગને સાકાર કરે છે.વર્તમાન મુખ્યપ્રવાહ PVT પદ્ધતિ દ્વારા ઉગાડવામાં આવેલ સ્ફટિકનું બંધારણ આકૃતિમાં દર્શાવવામાં આવ્યું છે.

ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલની બાહ્ય થર્મલ ઇન્સ્યુલેશન પરિસ્થિતિઓને નિયંત્રિત કરીને અક્ષીય અને રેડિયલ તાપમાન ક્ષેત્રોને નિયંત્રિત કરી શકાય છે.SiC પાવડરને ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલના તળિયે ઊંચા તાપમાને મૂકવામાં આવે છે, અને SiC સીડ ક્રિસ્ટલને નીચા તાપમાન સાથે ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલની ટોચ પર નિશ્ચિત કરવામાં આવે છે.પાઉડર અને બીજ વચ્ચેનું અંતર સામાન્ય રીતે દસ મિલીમીટર જેટલું નિયંત્રિત થાય છે જેથી ઉગતા સિંગલ ક્રિસ્ટલ અને પાવડર વચ્ચેનો સંપર્ક ટાળી શકાય.તાપમાનનો ઢાળ સામાન્ય રીતે 15-35℃/cm ની રેન્જમાં હોય છે.સંવહન વધારવા માટે ભઠ્ઠીમાં 50-5000 Pa નો નિષ્ક્રિય ગેસ રાખવામાં આવે છે.આ રીતે, ઇન્ડક્શન હીટિંગ દ્વારા SiC પાવડરને 2000-2500℃ સુધી ગરમ કર્યા પછી, SiC પાવડર ઉત્કૃષ્ટ થઈ જશે અને Si, Si2C, SiC2 અને અન્ય બાષ્પ ઘટકોમાં વિઘટિત થશે, અને ગેસ સંવહન સાથે બીજના અંત સુધી લઈ જવામાં આવશે, અને સિંગલ ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ હાંસલ કરવા માટે સીડ ક્રિસ્ટલ પર SiC ક્રિસ્ટલનું સ્ફટિકીકરણ કરવામાં આવે છે.તેનો સામાન્ય વિકાસ દર 0.1-2mm/h છે.

PVT પ્રક્રિયા વૃદ્ધિ તાપમાન, તાપમાન ઢાળ, વૃદ્ધિ સપાટી, સામગ્રી સપાટી અંતર અને વૃદ્ધિ દબાણના નિયંત્રણ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, તેનો ફાયદો એ છે કે તેની પ્રક્રિયા પ્રમાણમાં પરિપક્વ છે, કાચો માલ ઉત્પન્ન કરવામાં સરળ છે, કિંમત ઓછી છે, પરંતુ વૃદ્ધિ પ્રક્રિયા PVT પદ્ધતિનું અવલોકન કરવું મુશ્કેલ છે, સ્ફટિક વૃદ્ધિ દર 0.2-0.4mm/h છે, મોટી જાડાઈ (>50mm) સાથે સ્ફટિકો વધવા મુશ્કેલ છે.દાયકાઓના સતત પ્રયત્નો પછી, PVT પદ્ધતિ દ્વારા ઉગાડવામાં આવતી SiC સબસ્ટ્રેટ વેફર્સનું વર્તમાન બજાર ઘણું વિશાળ છે, અને SiC સબસ્ટ્રેટ વેફરનું વાર્ષિક ઉત્પાદન લાખો વેફર સુધી પહોંચી શકે છે, અને તેનું કદ ધીમે ધીમે 4 ઇંચથી 6 ઇંચ સુધી બદલાઈ રહ્યું છે. , અને 8 ઇંચના SiC સબસ્ટ્રેટ નમૂનાઓ વિકસાવ્યા છે.

 

પાંચમું,ઉચ્ચ તાપમાનની રાસાયણિક વરાળ જમા કરવાની પદ્ધતિ

 

હાઇ ટેમ્પરેચર કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (HTCVD) એ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) પર આધારિત સુધારેલી પદ્ધતિ છે.આ પદ્ધતિ સૌપ્રથમ 1995 માં કોર્ડિના એટ અલ., લિંકોપિંગ યુનિવર્સિટી, સ્વીડન દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવી હતી.
વૃદ્ધિ માળખું ડાયાગ્રામ આકૃતિમાં બતાવવામાં આવ્યું છે:

ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલની બાહ્ય થર્મલ ઇન્સ્યુલેશન પરિસ્થિતિઓને નિયંત્રિત કરીને અક્ષીય અને રેડિયલ તાપમાન ક્ષેત્રોને નિયંત્રિત કરી શકાય છે.SiC પાવડરને ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલના તળિયે ઊંચા તાપમાને મૂકવામાં આવે છે, અને SiC સીડ ક્રિસ્ટલને નીચા તાપમાન સાથે ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલની ટોચ પર નિશ્ચિત કરવામાં આવે છે.પાઉડર અને બીજ વચ્ચેનું અંતર સામાન્ય રીતે દસ મિલીમીટર જેટલું નિયંત્રિત થાય છે જેથી ઉગતા સિંગલ ક્રિસ્ટલ અને પાવડર વચ્ચેનો સંપર્ક ટાળી શકાય.તાપમાનનો ઢાળ સામાન્ય રીતે 15-35℃/cm ની રેન્જમાં હોય છે.સંવહન વધારવા માટે ભઠ્ઠીમાં 50-5000 Pa નો નિષ્ક્રિય ગેસ રાખવામાં આવે છે.આ રીતે, ઇન્ડક્શન હીટિંગ દ્વારા SiC પાવડરને 2000-2500℃ સુધી ગરમ કર્યા પછી, SiC પાવડર ઉત્કૃષ્ટ થઈ જશે અને Si, Si2C, SiC2 અને અન્ય બાષ્પ ઘટકોમાં વિઘટિત થશે, અને ગેસ સંવહન સાથે બીજના અંત સુધી લઈ જવામાં આવશે, અને સિંગલ ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ હાંસલ કરવા માટે સીડ ક્રિસ્ટલ પર SiC ક્રિસ્ટલનું સ્ફટિકીકરણ કરવામાં આવે છે.તેનો સામાન્ય વિકાસ દર 0.1-2mm/h છે.

PVT પ્રક્રિયા વૃદ્ધિ તાપમાન, તાપમાન ઢાળ, વૃદ્ધિ સપાટી, સામગ્રી સપાટી અંતર અને વૃદ્ધિ દબાણના નિયંત્રણ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, તેનો ફાયદો એ છે કે તેની પ્રક્રિયા પ્રમાણમાં પરિપક્વ છે, કાચો માલ ઉત્પન્ન કરવામાં સરળ છે, કિંમત ઓછી છે, પરંતુ વૃદ્ધિ પ્રક્રિયા PVT પદ્ધતિનું અવલોકન કરવું મુશ્કેલ છે, સ્ફટિક વૃદ્ધિ દર 0.2-0.4mm/h છે, મોટી જાડાઈ (>50mm) સાથે સ્ફટિકો વધવા મુશ્કેલ છે.દાયકાઓના સતત પ્રયત્નો પછી, PVT પદ્ધતિ દ્વારા ઉગાડવામાં આવતી SiC સબસ્ટ્રેટ વેફર્સનું વર્તમાન બજાર ઘણું વિશાળ છે, અને SiC સબસ્ટ્રેટ વેફરનું વાર્ષિક ઉત્પાદન લાખો વેફર સુધી પહોંચી શકે છે, અને તેનું કદ ધીમે ધીમે 4 ઇંચથી 6 ઇંચ સુધી બદલાઈ રહ્યું છે. , અને 8 ઇંચના SiC સબસ્ટ્રેટ નમૂનાઓ વિકસાવ્યા છે.

 

પાંચમું,ઉચ્ચ તાપમાનની રાસાયણિક વરાળ જમા કરવાની પદ્ધતિ

 

હાઇ ટેમ્પરેચર કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (HTCVD) એ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) પર આધારિત સુધારેલી પદ્ધતિ છે.આ પદ્ધતિ સૌપ્રથમ 1995 માં કોર્ડિના એટ અલ., લિંકોપિંગ યુનિવર્સિટી, સ્વીડન દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવી હતી.
વૃદ્ધિ માળખું ડાયાગ્રામ આકૃતિમાં બતાવવામાં આવ્યું છે:

જ્યારે SiC ક્રિસ્ટલ પ્રવાહી તબક્કા પદ્ધતિ દ્વારા ઉગાડવામાં આવે છે, ત્યારે સહાયક દ્રાવણની અંદર તાપમાન અને સંવહન વિતરણ આકૃતિમાં બતાવવામાં આવે છે:

તે જોઈ શકાય છે કે સહાયક દ્રાવણમાં ક્રુસિબલ દિવાલની નજીકનું તાપમાન વધારે છે, જ્યારે બીજ સ્ફટિકનું તાપમાન ઓછું છે.વૃદ્ધિ પ્રક્રિયા દરમિયાન, ગ્રેફાઇટ ક્રુસિબલ ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ માટે C સ્ત્રોત પૂરો પાડે છે.કારણ કે ક્રુસિબલ દિવાલ પર તાપમાન ઊંચું છે, C ની દ્રાવ્યતા મોટી છે, અને વિસર્જન દર ઝડપી છે, C ના સંતૃપ્ત દ્રાવણ બનાવવા માટે ક્રુસિબલ દિવાલ પર મોટી માત્રામાં C ઓગળવામાં આવશે. આ ઉકેલો મોટી માત્રામાં ઓગળેલા સીને સહાયક દ્રાવણમાં સંવહન દ્વારા બીજ સ્ફટિકના નીચેના ભાગમાં વહન કરવામાં આવશે.સીડ ક્રિસ્ટલ એન્ડના નીચા તાપમાનને લીધે, અનુરૂપ C ની દ્રાવ્યતા અનુરૂપ ઘટે છે, અને મૂળ C-સંતૃપ્ત દ્રાવણ આ સ્થિતિ હેઠળ નીચા તાપમાનના અંતમાં સ્થાનાંતરિત થયા પછી Cનું સુપરસેચ્યુરેટેડ દ્રાવણ બની જાય છે.સહાયક દ્રાવણમાં Si સાથે સંયોજિત દ્રાવણમાં સુપ્રાટેચ્યુરેટેડ C બીજ ક્રિસ્ટલ પર SiC ક્રિસ્ટલ એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ કરી શકે છે.જ્યારે C નો સુપરફોરેટેડ ભાગ બહાર નીકળી જાય છે, ત્યારે સોલ્યુશન સંવહન સાથે ક્રુસિબલ દિવાલના ઉચ્ચ-તાપમાન છેડે પરત આવે છે, અને સંતૃપ્ત દ્રાવણ બનાવવા માટે C ફરીથી ઓગળી જાય છે.

આખી પ્રક્રિયા પુનરાવર્તિત થાય છે, અને SiC ક્રિસ્ટલ વધે છે.પ્રવાહી તબક્કાની વૃદ્ધિની પ્રક્રિયામાં, દ્રાવણમાં સીનું વિસર્જન અને અવક્ષેપ એ વૃદ્ધિની પ્રગતિનો ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ સૂચક છે.સ્ફટિકની સ્થિર વૃદ્ધિને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, ક્રુસિબલ દિવાલ પર C ના વિસર્જન અને બીજના છેડે વરસાદ વચ્ચે સંતુલન જાળવવું જરૂરી છે.જો C નું વિસર્જન C ના વરસાદ કરતા વધારે હોય, તો ક્રિસ્ટલમાં C ધીમે ધીમે સમૃદ્ધ થાય છે, અને SiC નું સ્વયંસ્ફુરિત ન્યુક્લિએશન થશે.જો C નું વિસર્જન C ના વરસાદ કરતા ઓછું હોય, તો દ્રાવ્યની અછતને કારણે સ્ફટિકની વૃદ્ધિ કરવી મુશ્કેલ બનશે.
તે જ સમયે, સંવહન દ્વારા C નું પરિવહન વૃદ્ધિ દરમિયાન C ના પુરવઠાને પણ અસર કરે છે.સારી પૂરતી ક્રિસ્ટલ ગુણવત્તા અને પૂરતી જાડાઈ સાથે SiC સ્ફટિકો ઉગાડવા માટે, ઉપરોક્ત ત્રણ તત્વોનું સંતુલન સુનિશ્ચિત કરવું જરૂરી છે, જે SiC લિક્વિડ તબક્કાના વિકાસની મુશ્કેલીમાં ઘણો વધારો કરે છે.જો કે, સંબંધિત સિદ્ધાંતો અને તકનીકોમાં ધીમે ધીમે સુધારણા અને સુધારણા સાથે, SiC સ્ફટિકોના પ્રવાહી તબક્કા વૃદ્ધિના ફાયદા ધીમે ધીમે દેખાશે.
હાલમાં, જાપાનમાં 2-ઇંચના SiC ક્રિસ્ટલ્સનો લિક્વિડ ફેઝ ગ્રોથ હાંસલ કરી શકાય છે, અને 4-ઇંચના સ્ફટિકોનો લિક્વિડ ફેઝ ગ્રોથ પણ વિકસાવવામાં આવી રહ્યો છે.હાલમાં, સંબંધિત સ્થાનિક સંશોધનના સારા પરિણામો જોવા મળ્યા નથી, અને સંબંધિત સંશોધન કાર્યને અનુસરવું જરૂરી છે.

 

સાતમું, SiC સ્ફટિકોના ભૌતિક અને રાસાયણિક ગુણધર્મો

 

(1) યાંત્રિક ગુણધર્મો: SiC સ્ફટિકોમાં અત્યંત ઉચ્ચ કઠિનતા અને સારી વસ્ત્રો પ્રતિકાર હોય છે.તેની મોહસ કઠિનતા 9.2 અને 9.3 ની વચ્ચે છે, અને તેની ક્રિટ કઠિનતા 2900 અને 3100Kg/mm2 ની વચ્ચે છે, જે શોધાયેલ સામગ્રીઓમાં હીરાના સ્ફટિકો પછી બીજા ક્રમે છે.SiC ના ઉત્કૃષ્ટ યાંત્રિક ગુણધર્મોને લીધે, પાવડર SiC નો ઉપયોગ કટીંગ અથવા ગ્રાઇન્ડીંગ ઉદ્યોગમાં થાય છે, જેની વાર્ષિક માંગ લાખો ટન સુધીની હોય છે.કેટલાક વર્કપીસ પરના વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક કોટિંગ પણ SiC કોટિંગનો ઉપયોગ કરશે, ઉદાહરણ તરીકે, કેટલાક યુદ્ધ જહાજો પર વસ્ત્ર-પ્રતિરોધક કોટિંગ SiC કોટિંગથી બનેલું છે.

(2) થર્મલ ગુણધર્મો: SiC ની થર્મલ વાહકતા 3-5 W/cm·K સુધી પહોંચી શકે છે, જે પરંપરાગત સેમિકન્ડક્ટર Si ​​કરતા 3 ગણી અને GaAs કરતા 8 ગણી છે.SiC દ્વારા તૈયાર કરવામાં આવેલ ઉપકરણનું ગરમીનું ઉત્પાદન ઝડપથી દૂર કરી શકાય છે, તેથી SiC ઉપકરણની ગરમીના વિસર્જનની સ્થિતિની જરૂરિયાતો પ્રમાણમાં ઢીલી છે, અને તે ઉચ્ચ-શક્તિવાળા ઉપકરણોની તૈયારી માટે વધુ યોગ્ય છે.SiC સ્થિર થર્મોડાયનેમિક ગુણધર્મો ધરાવે છે.સામાન્ય દબાણની સ્થિતિમાં, SiC સીધા જ Si અને C ધરાવતા વરાળમાં વિઘટિત થશે.

(3) રાસાયણિક ગુણધર્મો: SiC સ્થિર રાસાયણિક ગુણધર્મો ધરાવે છે, સારી કાટ પ્રતિકાર ધરાવે છે, અને ઓરડાના તાપમાને કોઈપણ જાણીતા એસિડ સાથે પ્રતિક્રિયા કરતું નથી.લાંબા સમય સુધી હવામાં મૂકવામાં આવેલ SiC ધીમે ધીમે ગાઢ SiO2 નું પાતળું પડ બનાવશે, વધુ ઓક્સિડેશન પ્રતિક્રિયાઓને અટકાવશે.જ્યારે તાપમાન 1700 ℃ થી વધુ વધે છે, ત્યારે SiO2 પાતળું પડ ઝડપથી પીગળે છે અને ઓક્સિડાઇઝ થાય છે.SiC પીગળેલા ઓક્સિડન્ટ્સ અથવા પાયા સાથે ધીમી ઓક્સિડેશન પ્રતિક્રિયામાંથી પસાર થઈ શકે છે, અને SiC સ્ફટિકોમાં અવ્યવસ્થાને દર્શાવવા માટે SiC વેફર્સ સામાન્ય રીતે પીગળેલા KOH અને Na2O2માં કાટમાં આવે છે..

(4) વિદ્યુત ગુણધર્મો: વિશાળ બેન્ડગેપ સેમિકન્ડક્ટર્સની પ્રતિનિધિ સામગ્રી તરીકે SiC, 6H-SiC અને 4H-SiC બેન્ડગેપ પહોળાઈ અનુક્રમે 3.0 eV અને 3.2 eV છે, જે Si કરતાં 3 ગણી અને GaAs કરતાં 2 ગણી છે.SiC ના બનેલા સેમી-કન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં નાના લિકેજ કરંટ અને મોટા બ્રેકડાઉન ઇલેક્ટ્રિક ફિલ્ડ હોય છે, તેથી SiC ને હાઇ-પાવર ઉપકરણો માટે આદર્શ સામગ્રી તરીકે ગણવામાં આવે છે.SiC ની સંતૃપ્ત ઇલેક્ટ્રોન ગતિશીલતા પણ Si કરતા 2 ગણી વધારે છે, અને ઉચ્ચ-આવર્તન ઉપકરણોની તૈયારીમાં પણ તેના સ્પષ્ટ ફાયદા છે.પી-ટાઈપ SiC સ્ફટિકો અથવા N-ટાઈપ SiC સ્ફટિકો સ્ફટિકોમાં અશુદ્ધતાના અણુઓને ડોપ કરીને મેળવી શકાય છે.હાલમાં, P-પ્રકારના SiC સ્ફટિકો મુખ્યત્વે Al, B, Be, O, Ga, Sc અને અન્ય અણુઓ દ્વારા ડોપ કરવામાં આવે છે, અને N-પ્રકારના sic સ્ફટિકો મુખ્યત્વે N અણુઓ દ્વારા ડોપ કરવામાં આવે છે.ડોપિંગ સાંદ્રતા અને પ્રકારનો તફાવત SiC ના ભૌતિક અને રાસાયણિક ગુણધર્મો પર મોટી અસર કરશે.તે જ સમયે, ફ્રી કેરિયરને ડીપ લેવલ ડોપિંગ જેમ કે V દ્વારા ખીલી શકાય છે, પ્રતિકારકતા વધારી શકાય છે, અને અર્ધ-ઇન્સ્યુલેટીંગ SiC ક્રિસ્ટલ મેળવી શકાય છે.

(5) ઓપ્ટિકલ પ્રોપર્ટીઝ: પ્રમાણમાં વિશાળ બેન્ડ ગેપને કારણે, અનડોપ કરેલ SiC ક્રિસ્ટલ રંગહીન અને પારદર્શક છે.ડોપ્ડ SiC સ્ફટિકો તેમના વિવિધ ગુણધર્મોને કારણે વિવિધ રંગો દર્શાવે છે, ઉદાહરણ તરીકે, 6H-SiC ડોપિંગ N પછી લીલો હોય છે;4H-SiC ભુરો છે.15R-SiC પીળો છે.Al સાથે ડોપેડ, 4H-SiC વાદળી દેખાય છે.રંગના તફાવતને અવલોકન કરીને SiC ક્રિસ્ટલ પ્રકારને અલગ પાડવાની તે એક સાહજિક પદ્ધતિ છે.છેલ્લા 20 વર્ષોમાં SiC સંબંધિત ક્ષેત્રો પર સતત સંશોધન સાથે, સંબંધિત તકનીકોમાં મોટી પ્રગતિ થઈ છે.

 

આઠમું,SiC વિકાસ સ્થિતિનો પરિચય

હાલમાં, SiC ઉદ્યોગ વધુને વધુ સંપૂર્ણ બન્યો છે, સબસ્ટ્રેટ વેફર્સ, એપિટેક્સિયલ વેફર્સથી લઈને ઉપકરણ ઉત્પાદન, પેકેજિંગ, સમગ્ર ઔદ્યોગિક સાંકળ પરિપક્વ થઈ ગઈ છે, અને તે બજારને SiC સંબંધિત ઉત્પાદનો સપ્લાય કરી શકે છે.

ક્રિ એ SiC ક્રિસ્ટલ ગ્રોથ ઇન્ડસ્ટ્રીમાં લીડર છે અને SiC સબસ્ટ્રેટ વેફર્સના કદ અને ગુણવત્તા બંનેમાં અગ્રણી સ્થાન ધરાવે છે.ક્રી હાલમાં દર વર્ષે 300,000 SiC સબસ્ટ્રેટ ચિપ્સનું ઉત્પાદન કરે છે, જે વૈશ્વિક શિપમેન્ટમાં 80% થી વધુ હિસ્સો ધરાવે છે.

સપ્ટેમ્બર 2019 માં, ક્રીએ જાહેરાત કરી કે તે ન્યુયોર્ક સ્ટેટ, યુએસએમાં એક નવી સુવિધા બનાવશે, જે 200 મીમી વ્યાસની શક્તિ અને RF SiC સબસ્ટ્રેટ વેફર્સ ઉગાડવા માટે સૌથી અદ્યતન ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરશે, જે દર્શાવે છે કે તેની 200 mm SiC સબસ્ટ્રેટ સામગ્રી તૈયાર કરવાની ટેકનોલોજી છે. વધુ પરિપક્વ બનો.

હાલમાં, બજારમાં SiC સબસ્ટ્રેટ ચિપ્સના મુખ્ય પ્રવાહના ઉત્પાદનો મુખ્યત્વે 4H-SiC અને 6H-SiC વાહક અને 2-6 ઇંચના અર્ધ-ઇન્સ્યુલેટેડ પ્રકારના છે.
ઑક્ટોબર 2015માં, N-ટાઈપ અને LED માટે 200 mm SiC સબસ્ટ્રેટ વેફર્સ લૉન્ચ કરનાર ક્રી સૌપ્રથમ હતું, જે બજારમાં 8-ઈંચના SiC સબસ્ટ્રેટ વેફરની શરૂઆત દર્શાવે છે.
2016 માં, રોમએ વેન્ચુરી ટીમને સ્પોન્સર કરવાનું શરૂ કર્યું અને પરંપરાગત 200 kW ઇન્વર્ટરમાં IGBT + Si FRD સોલ્યુશનને બદલવા માટે કારમાં IGBT + SiC SBD સંયોજનનો ઉપયોગ કરનાર પ્રથમ વ્યક્તિ હતી.સુધારણા પછી, ઇન્વર્ટરનું વજન 2 કિલો અને સમાન શક્તિ જાળવી રાખીને કદમાં 19% ઘટાડો થાય છે.

2017 માં, SiC MOS + SiC SBD ને વધુ અપનાવ્યા પછી, માત્ર વજનમાં 6 કિલોનો ઘટાડો થયો નથી, કદમાં 43% ઘટાડો થયો છે, અને ઇન્વર્ટર પાવર પણ 200 kW થી વધારીને 220 kW કરવામાં આવ્યો છે.
ટેસ્લાએ 2018 માં તેના મોડલ 3 ઉત્પાદનોના મુખ્ય ડ્રાઇવ ઇન્વર્ટર્સમાં SIC-આધારિત ઉપકરણો અપનાવ્યા પછી, પ્રદર્શનની અસર ઝડપથી વિસ્તૃત થઈ, xEV ઓટોમોટિવ બજાર ટૂંક સમયમાં SiC બજાર માટે ઉત્તેજનાનું સ્ત્રોત બની ગયું.SiC ની સફળ એપ્લિકેશન સાથે, તેની સંબંધિત બજાર આઉટપુટ મૂલ્યમાં પણ ઝડપથી વધારો થયો છે.

નવમી,નિષ્કર્ષ:

SiC સંબંધિત ઉદ્યોગ તકનીકોમાં સતત સુધારણા સાથે, તેની ઉપજ અને વિશ્વસનીયતામાં વધુ સુધારો થશે, SiC ઉપકરણોની કિંમતમાં પણ ઘટાડો થશે, અને SiC ની બજાર સ્પર્ધાત્મકતા વધુ સ્પષ્ટ થશે.ભવિષ્યમાં, SiC ઉપકરણોનો ઉપયોગ વિવિધ ક્ષેત્રો જેમ કે ઓટોમોબાઈલ, કોમ્યુનિકેશન્સ, પાવર ગ્રીડ અને પરિવહનમાં વધુ વ્યાપકપણે થશે અને ઉત્પાદન બજાર વધુ વ્યાપક બનશે, અને બજારનું કદ વધુ વિસ્તૃત થશે, જે રાષ્ટ્રીય માટે મહત્વપૂર્ણ આધાર બનશે. અર્થતંત્ર