ના મુખ્ય ઘટકોમાંના એક તરીકેMOCVD સાધનો, ગ્રેફાઇટ આધાર એ સબસ્ટ્રેટનું વાહક અને હીટિંગ બોડી છે, જે સીધી રીતે ફિલ્મ સામગ્રીની એકરૂપતા અને શુદ્ધતાને નિર્ધારિત કરે છે, તેથી તેની ગુણવત્તા સીધી એપિટેક્સિયલ શીટની તૈયારીને અસર કરે છે, અને તે જ સમયે, સંખ્યાના વધારા સાથે. ઉપયોગો અને કામ કરવાની પરિસ્થિતિઓમાં ફેરફાર, તે પહેરવા માટે ખૂબ જ સરળ છે, જે ઉપભોજ્ય વસ્તુઓથી સંબંધિત છે.
ગ્રેફાઇટમાં ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા અને સ્થિરતા હોવા છતાં, તેનો આધાર ઘટક તરીકે સારો ફાયદો છેMOCVD સાધનો, પરંતુ ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, કાટરોધક વાયુઓ અને ધાતુના કાર્બનિક પદાર્થોના અવશેષોને કારણે ગ્રેફાઇટ પાવડરને કાટ કરશે, અને ગ્રેફાઇટ બેઝની સર્વિસ લાઇફ ઘણી ઓછી થઈ જશે.તે જ સમયે, પડતો ગ્રેફાઇટ પાવડર ચિપમાં પ્રદૂષણનું કારણ બનશે.
કોટિંગ ટેક્નોલૉજીનો ઉદભવ સપાટીના પાવડરને ફિક્સેશન પ્રદાન કરી શકે છે, થર્મલ વાહકતા વધારી શકે છે અને ગરમીના વિતરણને સમાન બનાવી શકે છે, જે આ સમસ્યાને ઉકેલવા માટેની મુખ્ય તકનીક બની છે.માં ગ્રેફાઇટ આધારMOCVD સાધનોપર્યાવરણનો ઉપયોગ કરો, ગ્રેફાઇટ બેઝ સપાટી કોટિંગ નીચેની લાક્ષણિકતાઓને મળવી જોઈએ:
(1) ગ્રેફાઇટ આધારને સંપૂર્ણ રીતે વીંટાળી શકાય છે, અને ઘનતા સારી છે, અન્યથા ગ્રેફાઇટ આધારને કાટ લાગતા વાયુમાં કાટ લાગવો સરળ છે.
(2) ઘણા ઊંચા તાપમાન અને નીચા તાપમાનના ચક્ર પછી કોટિંગ પડવું સરળ નથી તેની ખાતરી કરવા માટે ગ્રેફાઇટ બેઝ સાથે સંયોજન શક્તિ વધારે છે.
(3) ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટ લાગતા વાતાવરણમાં કોટિંગની નિષ્ફળતા ટાળવા માટે તે સારી રાસાયણિક સ્થિરતા ધરાવે છે.
SiC પાસે કાટ પ્રતિકાર, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, થર્મલ શોક પ્રતિકાર અને ઉચ્ચ રાસાયણિક સ્થિરતાના ફાયદા છે અને તે GaN એપિટેક્સિયલ વાતાવરણમાં સારી રીતે કાર્ય કરી શકે છે.વધુમાં, SiC નો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક ગ્રેફાઇટ કરતા ઘણો ઓછો અલગ છે, તેથી SiC એ ગ્રેફાઇટ આધારની સપાટીના કોટિંગ માટે પસંદગીની સામગ્રી છે.
હાલમાં, સામાન્ય SiC મુખ્યત્વે 3C, 4H અને 6H પ્રકાર છે, અને વિવિધ પ્રકારના ક્રિસ્ટલના SiC ઉપયોગો અલગ છે.ઉદાહરણ તરીકે, 4H-SiC ઉચ્ચ-શક્તિવાળા ઉપકરણોનું ઉત્પાદન કરી શકે છે;6H-SiC સૌથી સ્થિર છે અને ફોટોઇલેક્ટ્રિક ઉપકરણોનું ઉત્પાદન કરી શકે છે;GaN ની સમાન રચનાને કારણે, 3C-SiC નો ઉપયોગ GaN એપિટેક્સિયલ લેયર બનાવવા અને SiC-GaN RF ઉપકરણો બનાવવા માટે થઈ શકે છે.3C-SiC તરીકે પણ ઓળખાય છેβ-SiC, અને એક મહત્વપૂર્ણ ઉપયોગβ-SiC એક ફિલ્મ અને કોટિંગ સામગ્રી તરીકે છે, તેથીβ-SiC હાલમાં કોટિંગ માટેની મુખ્ય સામગ્રી છે.
પોસ્ટ સમય: નવેમ્બર-06-2023