પાતળી ફિલ્મની શીટ પ્રતિકાર કેવી રીતે માપવા?

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં વપરાતી પાતળી ફિલ્મોમાં તમામ પ્રતિકાર હોય છે, અને ફિલ્મ પ્રતિકાર ઉપકરણના પ્રદર્શન પર સીધી અસર કરે છે.અમે સામાન્ય રીતે ફિલ્મના સંપૂર્ણ પ્રતિકારને માપતા નથી, પરંતુ તેને લાક્ષણિકતા આપવા માટે શીટ પ્રતિકારનો ઉપયોગ કરીએ છીએ.

શીટ પ્રતિકાર અને વોલ્યુમ પ્રતિકારકતા શું છે?

વોલ્યુમ રેઝિસ્ટિવિટી, જેને વોલ્યુમ રેઝિસ્ટિવિટી તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે સામગ્રીની સહજ ગુણધર્મ છે જે દર્શાવે છે કે સામગ્રી વિદ્યુત પ્રવાહના પ્રવાહને કેટલી અવરોધે છે.સામાન્ય રીતે વપરાતું પ્રતીક ρ રજૂ કરે છે, એકમ Ω છે.

શીટ રેઝિસ્ટન્સ, જેને શીટ રેઝિસ્ટન્સ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, અંગ્રેજી નામ શીટ રેઝિસ્ટન્સ છે, જે એકમ વિસ્તાર દીઠ ફિલ્મના પ્રતિકાર મૂલ્યને દર્શાવે છે.વ્યક્ત કરવા માટે સામાન્ય રીતે વપરાયેલ પ્રતીકો Rs અથવા ρs, એકમ Ω/sq અથવા Ω/□ છે

બંને વચ્ચેનો સંબંધ છે: શીટ પ્રતિકાર = વોલ્યુમ પ્રતિકારકતા/ફિલ્મની જાડાઈ, એટલે કે રૂ =ρ/t

શા માટે શીટ પ્રતિકાર માપવા?

ફિલ્મના સંપૂર્ણ પ્રતિકારને માપવા માટે ફિલ્મના ભૌમિતિક પરિમાણો (લંબાઈ, પહોળાઈ, જાડાઈ) નું ચોક્કસ જ્ઞાન જરૂરી છે, જેમાં ઘણા ચલ હોય છે અને તે ખૂબ જ પાતળી અથવા અનિયમિત આકારની ફિલ્મો માટે ખૂબ જટિલ હોય છે.શીટનો પ્રતિકાર માત્ર ફિલ્મની જાડાઈ સાથે સંબંધિત છે અને કદની જટિલ ગણતરીઓ વિના ઝડપથી અને સીધી રીતે પરીક્ષણ કરી શકાય છે.

કઈ ફિલ્મોને શીટ પ્રતિકાર માપવાની જરૂર છે?

સામાન્ય રીતે, વાહક ફિલ્મો અને સેમિકન્ડક્ટર ફિલ્મોને ચોરસ પ્રતિકાર માટે માપવાની જરૂર છે, જ્યારે ઇન્સ્યુલેટીંગ ફિલ્મોને માપવાની જરૂર નથી.
સેમિકન્ડક્ટર ડોપિંગમાં, સિલિકોનની શીટ પ્રતિકાર પણ માપવામાં આવે છે.

ચોરસ પ્રતિકાર કેવી રીતે માપવા?

ચાર-તપાસ પદ્ધતિનો સામાન્ય રીતે ઉદ્યોગમાં ઉપયોગ થાય છે.ફોર-પ્રોબ પદ્ધતિ 1E-3 થી 1E+9Ω/sq સુધીના ચોરસ પ્રતિકારને માપી શકે છે.ફોર-પ્રોબ પદ્ધતિ ચકાસણી અને નમૂના વચ્ચેના સંપર્ક પ્રતિકારને કારણે માપન ભૂલોને ટાળી શકે છે.

માપન પદ્ધતિઓ:
1) નમૂનાની સપાટી પર ચાર રેખીય રીતે ગોઠવેલ ચકાસણીઓ સેટ કરો.
2) બે બાહ્ય ચકાસણીઓ વચ્ચે સતત પ્રવાહ લાગુ કરો.
3) બે આંતરિક ચકાસણીઓ વચ્ચેના સંભવિત તફાવતને માપીને પ્રતિકાર નક્કી કરો

આરએસ: શીટ પ્રતિકાર
ΔV: આંતરિક ચકાસણીઓ વચ્ચે માપવામાં આવેલ વોલ્ટેજમાં ફેરફાર
I: બાહ્ય ચકાસણીઓ વચ્ચે વર્તમાન લાગુ