SEMICERA isostatic PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ એ PECVD (પ્લાઝમા ઉન્નત રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયામાં વેફર સપોર્ટ માટે રચાયેલ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ ઉત્પાદન છે. SEMICERA એ સુનિશ્ચિત કરવા માટે અદ્યતન આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરે છે કે ગ્રેફાઇટ બોટમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને સારી થર્મલ વાહકતા છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં અનિવાર્ય ઉપભોગ્ય છે.
SEMICERA isostatic PECVD ગ્રેફાઇટ બોટના નીચેના ફાયદા છે:
▪ ઉચ્ચ શુદ્ધતા: વેફર સપાટીના દૂષણને ટાળવા માટે ગ્રેફાઇટ સામગ્રી ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ઓછી અશુદ્ધતાની સામગ્રી ધરાવે છે.
▪ ઉચ્ચ ઘનતા: ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ વાતાવરણનો સામનો કરી શકે છે.
▪ સારી પરિમાણીય સ્થિરતા: પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઊંચા તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફાર.
▪ ઉત્કૃષ્ટ થર્મલ વાહકતા: વેફર ઓવરહિટીંગને રોકવા માટે ગરમીને અસરકારક રીતે સ્થાનાંતરિત કરો.
▪ મજબૂત કાટ પ્રતિકાર: વિવિધ સડો કરતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરવામાં સક્ષમ.
| પ્રદર્શન પરિમાણ | સેમીસેરા | SGL R6510 | પ્રદર્શન પરિમાણ |
| બલ્ક ઘનતા (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| સંકુચિત શક્તિ (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| કિનારાની કઠિનતા (HS) | 70 | 64 | 60 |
| થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| પ્રતિકારકતા (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
અમને પસંદ કરવાના ફાયદા:
▪ સામગ્રીની પસંદગી: ઉત્પાદનની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે.
▪ પ્રોસેસિંગ ટેક્નોલોજી: આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગનો ઉપયોગ ઉત્પાદનની ઘનતા અને એકરૂપતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે થાય છે.
▪ કદ કસ્ટમાઇઝેશન: વિવિધ કદ અને આકારોની ગ્રેફાઇટ બોટ ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.
▪ સરફેસ ટ્રીટમેન્ટ: વિવિધ પ્રકારની સપાટીની સારવાર પદ્ધતિઓ પૂરી પાડવામાં આવે છે, જેમ કે કોટિંગ સિલિકોન કાર્બાઈડ, બોરોન નાઈટ્રાઈડ વગેરે, પ્રક્રિયાની વિવિધ જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા.
