SiC કોટેડગ્રેફાઇટ હાફમૂન ભાગસેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાઓમાં ખાસ કરીને SiC એપિટેક્સિયલ સાધનો માટે વપરાતો મુખ્ય ઘટક છે. અમે અત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતા, સારી કોટિંગ એકરૂપતા અને ઉત્તમ સેવા જીવન તેમજ ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ગુણધર્મો સાથે હાફમૂન ભાગ બનાવવા માટે અમારી પેટન્ટ ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરીએ છીએ.
