2~6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ P-ટાઈપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ

ટૂંકું વર્ણન:

4° ઑફ-એન્ગલ P-Type 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ’ એ ચોક્કસ સેમિકન્ડક્ટર મટિરિયલ છે, જ્યાં "4° ઑફ-એન્ગલ" એ વેફરના ક્રિસ્ટલ ઑરિએન્ટેશન એંગલને 4 ડિગ્રી ઑફ-એંગલ હોવાનો ઉલ્લેખ કરે છે, અને "P-ટાઈપ" નો સંદર્ભ આપે છે. સેમિકન્ડક્ટરનો વાહકતા પ્રકાર. આ સામગ્રી સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં મહત્વપૂર્ણ એપ્લિકેશન ધરાવે છે, ખાસ કરીને પાવર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને ઉચ્ચ-આવર્તન ઇલેક્ટ્રોનિક્સના ક્ષેત્રોમાં.


ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સેમિસેરાના 2~6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ્સ ઉચ્ચ-પ્રદર્શન શક્તિ અને RF ઉપકરણ ઉત્પાદકોની વધતી જતી જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે તૈયાર કરવામાં આવ્યા છે. 4° ઑફ-એન્ગલ ઓરિએન્ટેશન ઑપ્ટિમાઇઝ એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિને સુનિશ્ચિત કરે છે, જે આ સબસ્ટ્રેટને MOSFETs, IGBTs અને ડાયોડ્સ સહિત સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની શ્રેણી માટે આદર્શ પાયો બનાવે છે.

આ 2~6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ P-ટાઈપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટમાં ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, ઉત્તમ વિદ્યુત કામગીરી અને ઉત્કૃષ્ટ યાંત્રિક સ્થિરતા સહિત ઉત્તમ સામગ્રી ગુણધર્મો છે. ઓફ-એંગલ ઓરિએન્ટેશન માઇક્રોપાઇપ ઘનતા ઘટાડવામાં મદદ કરે છે અને સરળ એપિટેક્સિયલ સ્તરોને પ્રોત્સાહન આપે છે, જે અંતિમ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણની કામગીરી અને વિશ્વસનીયતાને સુધારવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે.

સેમિસેરાના 2~6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ્સ વિવિધ મેન્યુફેક્ચરિંગ જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે 2 ઇંચથી 6 ઇંચ સુધીના વિવિધ વ્યાસમાં ઉપલબ્ધ છે. અમારા સબસ્ટ્રેટ્સ એકસમાન ડોપિંગ સ્તરો અને ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી સપાટીની લાક્ષણિકતાઓ પ્રદાન કરવા માટે ચોક્કસ રીતે એન્જિનિયર્ડ છે, તે સુનિશ્ચિત કરે છે કે દરેક વેફર અદ્યતન ઇલેક્ટ્રોનિક એપ્લિકેશનો માટે જરૂરી કડક સ્પષ્ટીકરણોને પૂર્ણ કરે છે.

નવીનતા અને ગુણવત્તા માટે સેમિસેરાની પ્રતિબદ્ધતા એ સુનિશ્ચિત કરે છે કે અમારા 2~6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ્સ પાવર ઇલેક્ટ્રોનિક્સથી ઉચ્ચ-આવર્તન ઉપકરણો સુધીની એપ્લિકેશનની વિશાળ શ્રેણીમાં સુસંગત પ્રદર્શન પ્રદાન કરે છે. આ ઉત્પાદન ઉર્જા-કાર્યક્ષમ, ઉચ્ચ-પ્રદર્શન સેમિકન્ડક્ટર્સની આગામી પેઢી માટે વિશ્વસનીય ઉકેલ પૂરો પાડે છે, જે ઓટોમોટિવ, ટેલિકોમ્યુનિકેશન્સ અને રિન્યુએબલ એનર્જી જેવા ઉદ્યોગોમાં તકનીકી પ્રગતિને સમર્થન આપે છે.

કદ સંબંધિત ધોરણો

કદ

2-ઇંચ

4-ઇંચ

વ્યાસ 50.8 mm±0.38 mm 100.0 mm+0/-0.5 mm
સરફેસ ઓરેન્ટેશન 4° તરફ<11-20>±0.5° 4° તરફ<11-20>±0.5°
પ્રાથમિક ફ્લેટ લંબાઈ 16.0 mm±1.5mm 32.5mm±2mm
માધ્યમિક ફ્લેટ લંબાઈ 8.0 mm±1.5mm 18.0 mm ± 2 mm
પ્રાથમિક ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન સમાંતર <11-20>±5.0° સમાંતર<11-20>±5.0c
માધ્યમિક ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન પ્રાથમિક ± 5.0° થી 90°CW, સિલિકોન ફેસ અપ પ્રાથમિક ± 5.0° થી 90°CW, સિલિકોન ફેસ અપ
સપાટી સમાપ્ત સી-ફેસ: ઓપ્ટિકલ પોલિશ, સી-ફેસ: CMP સી-ફેસ: ઓપ્ટિકલપોલિશ, સી-ફેસ: સીએમપી
વેફર એજ બેવલિંગ બેવલિંગ
સપાટીની ખરબચડી Si-Face Ra<0.2 nm Si-Face Ra<0.2nm
જાડાઈ 350.0±25.0um 350.0±25.0um
પોલીટાઈપ 4H 4H
ડોપિંગ p-પ્રકાર p-પ્રકાર

કદ સંબંધિત ધોરણો

કદ

6-ઇંચ
વ્યાસ 150.0 mm+0/-0.2 mm
સપાટી ઓરિએન્ટેશન 4° તરફ<11-20>±0.5°
પ્રાથમિક ફ્લેટ લંબાઈ 47.5 મીમી ± 1.5 મીમી
માધ્યમિક ફ્લેટ લંબાઈ કોઈ નહિ
પ્રાથમિક ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન <11-20>±5.0°ની સમાંતર
ગૌણ ફ્લેટ ઓરિએન્ટેશન પ્રાથમિક ± 5.0° થી 90°CW, સિલિકોન ફેસ અપ
સપાટી સમાપ્ત સી-ફેસ: ઓપ્ટિકલ પોલિશ, સી-ફેસ: સીએમપી
વેફર એજ બેવલિંગ
સપાટીની ખરબચડી Si-Face Ra<0.2 nm
જાડાઈ 350.0±25.0μm
પોલીટાઈપ 4H
ડોપિંગ p-પ્રકાર

રમણ

2-6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ-3

રોકિંગ વળાંક

2-6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ-4

ડિસલોકેશન ડેન્સિટી (KOH એચિંગ)

2-6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ-5

KOH એચીંગ છબીઓ

2-6 ઇંચ 4° ઓફ-એંગલ પી-ટાઇપ 4H-SiC સબસ્ટ્રેટ-6
SiC વેફર્સ

  • ગત:
  • આગળ: