વેફર કેરિયરનો પરિચય
ઉત્પાદન શ્રેણી
▶PECVD અને TALOX પ્રક્રિયા માટે વેફર કેરિયર સિસ્ટમ
• PECVD અને TALOX ગ્રેફાઇટ બોટ (M4~M12)
• વર્ટિકલ SM-બોટ (M4, M6)
• ઇમ્પ્લાન્ટ અને શાવર ગ્રેફાઇટ ભાગ (M4~M6)
• C/C ટ્રે અને સિરામિક કોટિંગ
• મેટલ RIE-ટ્રે અને સિરામિક કોટિંગ
• વેક્યુમ સીલિંગ : ઓ-રિંગ અને SQ-રિંગ
▶ટેક્સચરિંગ અને વેટ એચિંગ ટ્રાન્સફર પ્રક્રિયા
• LSC H-કેરિયર અથવા કેસેટ (M4~M12)
• LSC V-કેરિયર અથવા કેસેટ (M4~M12)
• ASC કેરિયર અથવા કેસેટ (M4, M6)
• W/F કેરિયર અને સ્ટોરેજ બોક્સ (M4~M12)
• ટ્રાન્સપોર્ટ વ્હીલ (રોલર) શ્રેણી
▶સોલર સેલ કેરિયર અને મેટલ કેરિયર
• TRC કેરિયર અથવા કેસેટ (M4~M12)
• મેગેઝિન (BELT સાથે)
ગ્રેફાઇટ બોટ (એચ-ટાઈપ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ગ્રેફાઇટ બોટ (એચ-ટાઈપ)
21P6-240CT WF M4~M12)
ગ્રેફાઇટ બોટ (એચ-ટાઈપ)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ગ્રેફાઇટ બોટ (એચ-ટાઈપ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ગ્રેફાઇટ બોટ (એચ-ટાઈપ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF કેરિયર અને સ્ટોરેજ બોક્સ (~M12)
C/C ટ્રે અથવા વાહક (M4~M10)
C/C ટ્રે અથવા વાહક (M4~M10)
વર્ટિકલ બોટ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC વાહક (~M6)
TRC વાહક(~M12)
TRC વાહક(~M12)
ગ્રેફાઇટ-બોટ(M12)
PECVD પ્રક્રિયા માટે વેફર કેરિયર સિસ્ટમ
▶ ગ્રેફાઇટ બોટ (CT-ડિઝાઇન કરેલ) M10/M12 પ્રક્રિયા
• સ્પેશિયલ ડિઝાઈન કન્સેપ્ટ
▶ ગ્રેફાઇટ બોટ (CT-ડિઝાઇન કરેલ) M4/M6 પ્રક્રિયા
▶ બોટ સહાયક ભાગો
▶ વર્ટિકલ બોટ-161.7 મીમી વેફર
▶ વર્ટિકલ બોટ-166 મીમી વેફર
▶ વર્ટિકલ બોટ - 161.7 મીમી, 166 મીમી વેફર
સોલર સેલ કેરિયર અને મેટલ ટીઆરસી કેરિયર
પ્રકાર: ઓટોમેશન
વેફર સાઈઝ : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ઉપયોગ: લઈ જાવ (કેસેટ)
ક્ષમતા: 100 શીટ
પિચ : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
પરિમાણ : આશરે 559×220×220MM
આશરે 712×260×260MM
ફાયદો: વાતાવરણ
સામગ્રી : ફ્લેમ, સાઇડ બાર-એલ્યુમિનિયમ (એનોડાઇઝિંગ)
સાઇડ પ્લેટ-પોમ (એન્ટીસ્ટેટિક)
બોટમ બારનું કવર-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-મેટલ કેરિયર (U'SER લાઇન)
TRC-મેટલ કેરિયર (U'SER લાઇન)
TRC-મેટલ કેરિયર (U'SER લાઇન)
શાવર પ્લેટ અને ઇમ્પ્લાન્ટ, કેરિયર
