MOCVD સસેપ્ટર શું છે?

આMOCVDપદ્ધતિ એ હાલમાં ઉદ્યોગમાં ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળી સિંગલ ક્રિસ્ટલ પાતળી ફિલ્મો, જેમ કે સિંગલ ફેઝ InGaN એપિલેયર્સ, III-N મટિરિયલ્સ અને મલ્ટી ક્વોન્ટમ વેલ સ્ટ્રક્ચર્સ સાથે સેમિકન્ડક્ટર ફિલ્મો વિકસાવવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતી સૌથી સ્થિર પ્રક્રિયાઓમાંની એક છે, અને તે ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. સેમિકન્ડક્ટર અને ઓપ્ટોઈલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણોનું ઉત્પાદન.

આSiC કોટિંગ MOCVD સસેપ્ટરમાટે સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સાથે કોટેડ વિશિષ્ટ વેફર ધારક છેએપિટેક્સિયલ મેટલ ઓર્ગેનિક કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (MOCVD) પ્રક્રિયામાં વૃદ્ધિ.

SiC કોટિંગ ઉત્કૃષ્ટ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ધરાવે છે, જે તેને એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ પ્રક્રિયાઓની માંગમાં ઉપયોગમાં લેવાતા MOCVD સસેપ્ટર્સ માટે એક આદર્શ પસંદગી બનાવે છે.

MOCVD પ્રક્રિયાનો મુખ્ય ઘટક એ સસેપ્ટર છે, જે ઉત્પાદિત પાતળી ફિલ્મોની એકરૂપતા અને ગુણવત્તાને સુનિશ્ચિત કરવા માટેનું મુખ્ય તત્વ છે.

સસેપ્ટર શું છે? સસેપ્ટર એ એક વિશિષ્ટ ઘટક છે જેનો ઉપયોગ MOCVD પ્રક્રિયામાં સબસ્ટ્રેટને ટેકો આપવા અને ગરમ કરવા માટે થાય છે જેના પર પાતળી ફિલ્મ જમા થાય છે. તે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ઉર્જાને શોષી લેવા, તેને ગરમીમાં રૂપાંતરિત કરવા અને સબસ્ટ્રેટ પર સમાનરૂપે ગરમીનું વિતરણ કરવા સહિત બહુવિધ કાર્યો ધરાવે છે. ચોક્કસ જાડાઈ અને રચના સાથે સમાન પાતળી ફિલ્મોના વિકાસ માટે આ સમાન ગરમી આવશ્યક છે.

સસેપ્ટર્સના પ્રકાર:
1. ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર્સ: ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર્સ ઘણીવાર રક્ષણાત્મક સ્તર સાથે કોટેડ હોય છે જેમ કેસિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC), જે તેની ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને સ્થિરતા માટે જાણીતું છે. આSiC કોટિંગસખત, રક્ષણાત્મક સપાટી પૂરી પાડે છે જે ઊંચા તાપમાને કાટ અને અધોગતિનો પ્રતિકાર કરે છે.

2. સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સસેપ્ટર્સ: આ સસેપ્ટર્સ સંપૂર્ણપણે SiC થી બનેલા છે અને ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર ધરાવે છે. SiC સસેપ્ટર્સ ખાસ કરીને ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ અને કાટ લાગતા વાતાવરણ માટે યોગ્ય છે.

MOCVD માં સસેપ્ટર્સ કેવી રીતે કામ કરે છે:

MOCVD પ્રક્રિયામાં, પૂર્વવર્તી પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં દાખલ કરવામાં આવે છે જ્યાં તેઓ વિઘટન કરે છે અને સબસ્ટ્રેટ પર પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે પ્રતિક્રિયા આપે છે. સબસ્ટ્રેટ સમાનરૂપે ગરમ થાય છે તેની ખાતરી કરીને સસેપ્ટર મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે, જે સમગ્ર સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર સુસંગત ફિલ્મ ગુણધર્મો પ્રાપ્ત કરવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે. તાપમાન શ્રેણી અને રાસાયણિક સુસંગતતા જેવી ડિપોઝિશન પ્રક્રિયાની ચોક્કસ જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે સસેપ્ટરની સામગ્રી અને ડિઝાઇન કાળજીપૂર્વક પસંદ કરવામાં આવે છે.

ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા સસેપ્ટર્સનો ઉપયોગ કરવાના ફાયદા:
• ઉન્નત ફિલ્મ ગુણવત્તા: સમાન ગરમી વિતરણ પ્રદાન કરીને, સસેપ્ટર સતત જાડાઈ અને રચના સાથે ફિલ્મો પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના પ્રદર્શન માટે મહત્વપૂર્ણ છે.
• સુધારેલ પ્રક્રિયા કાર્યક્ષમતા: ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા સસેપ્ટર્સ MOCVD પ્રક્રિયાની એકંદર કાર્યક્ષમતામાં ખામીઓની સંભાવનાને ઘટાડીને અને ઉપયોગી ફિલ્મોની ઉપજમાં વધારો કરે છે.
• આયુષ્ય અને વિશ્વસનીયતા: SiC જેવી ટકાઉ સામગ્રીથી બનેલા સસેપ્ટર્સ લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરે છે અને જાળવણી ખર્ચ ઘટાડે છે.

MOCVD પ્રક્રિયામાં સસેપ્ટર એક અભિન્ન ઘટક છે અને પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશનની ગુણવત્તા અને કાર્યક્ષમતાને સીધી અસર કરે છે. ઉપલબ્ધ કદ, MOCVD સસેપ્ટર્સ અને કિંમતો વિશે વધુ માહિતી માટે, કૃપા કરીને અમારો સંપર્ક કરવામાં અચકાશો નહીં. અમારા ઇજનેરો તમને યોગ્ય સામગ્રી પર સલાહ આપવામાં અને તમારા બધા પ્રશ્નોના જવાબ આપવા માટે ખુશ થશે.

ફોન: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com