સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા

સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફરકાચા માલ તરીકે ઉચ્ચ શુદ્ધતા સિલિકોન પાવડર અને ઉચ્ચ શુદ્ધતા કાર્બન પાવડરથી બનેલું છે, અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ક્રિસ્ટલ ભૌતિક વરાળ ટ્રાન્સફર પદ્ધતિ (PVT) દ્વારા ઉગાડવામાં આવે છે, અને તેમાં પ્રક્રિયા કરવામાં આવે છે.સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર.

① કાચો માલ સંશ્લેષણ. ઉચ્ચ શુદ્ધતા સિલિકોન પાવડર અને ઉચ્ચ શુદ્ધતા કાર્બન પાવડર ચોક્કસ ગુણોત્તર અનુસાર મિશ્ર કરવામાં આવ્યા હતા, અને સિલિકોન કાર્બાઇડ કણો 2,000 ℃ ઉપરના ઊંચા તાપમાને સંશ્લેષણ કરવામાં આવ્યા હતા. ક્રશિંગ, ક્લિનિંગ અને અન્ય પ્રક્રિયાઓ પછી, ઉચ્ચ શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ પાવડર કાચો માલ તૈયાર કરવામાં આવે છે જે ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

② ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ. કાચા માલ તરીકે ઉચ્ચ શુદ્ધતાના SIC પાવડરનો ઉપયોગ કરીને, સ્ફટિકને ભૌતિક વરાળ ટ્રાન્સફર (PVT) પદ્ધતિ દ્વારા સ્વ-વિકસિત ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ ભઠ્ઠીનો ઉપયોગ કરીને ઉગાડવામાં આવ્યું હતું.

③ ઇન્ગોટ પ્રોસેસિંગ. મેળવેલ સિલિકોન કાર્બાઇડ ક્રિસ્ટલ ઇંગોટ એક્સ-રે સિંગલ ક્રિસ્ટલ ઓરિએન્ટેટર દ્વારા ઓરિએન્ટેટ કરવામાં આવ્યું હતું, પછી ગ્રાઉન્ડ અને રોલ કરવામાં આવ્યું હતું અને પ્રમાણભૂત વ્યાસના સિલિકોન કાર્બાઇડ ક્રિસ્ટલમાં પ્રક્રિયા કરવામાં આવી હતી.

④ ક્રિસ્ટલ કટીંગ. મલ્ટિ-લાઇન કટીંગ સાધનોનો ઉપયોગ કરીને, સિલિકોન કાર્બાઇડ સ્ફટિકો 1mm કરતાં વધુની જાડાઈ સાથે પાતળા શીટ્સમાં કાપવામાં આવે છે.

⑤ ચિપ ગ્રાઇન્ડીંગ. વિવિધ કણોના કદના ડાયમંડ ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રવાહી દ્વારા વેફરને ઇચ્છિત સપાટતા અને ખરબચડી માટે ગ્રાઉન્ડ કરવામાં આવે છે.

⑥ ચિપ પોલિશિંગ. સપાટીને નુકસાન વિના પોલિશ્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ યાંત્રિક પોલિશિંગ અને રાસાયણિક મિકેનિકલ પોલિશિંગ દ્વારા મેળવવામાં આવી હતી.

⑦ ચિપ શોધ. માઇક્રોટ્યુબ્યુલની ઘનતા, સ્ફટિકની ગુણવત્તા, સપાટીની ખરબચડી, પ્રતિકારકતા, વોરપેજ, વક્રતા, સ્ફટિકની ગુણવત્તા શોધવા માટે ઓપ્ટિકલ માઇક્રોસ્કોપ, એક્સ-રે ડિફ્રેક્ટોમીટર, એટોમિક ફોર્સ માઇક્રોસ્કોપ, નોન-કોન્ટેક્ટ રેઝિસ્ટિવિટી ટેસ્ટર, સરફેસ ફ્લેટનેસ ટેસ્ટર, સપાટી ડિફેક્ટ વ્યાપક ટેસ્ટર અને અન્ય સાધનો અને સાધનોનો ઉપયોગ કરો. સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફરના જાડાઈમાં ફેરફાર, સપાટીના સ્ક્રેચ અને અન્ય પરિમાણો. આ મુજબ, ચિપનું ગુણવત્તા સ્તર નક્કી કરવામાં આવે છે.

⑧ ચિપ સફાઈ. પોલિશિંગ શીટ પરના શેષ પોલિશિંગ પ્રવાહી અને સપાટીની અન્ય ગંદકીને દૂર કરવા માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ પોલિશિંગ શીટને ક્લિનિંગ એજન્ટ અને શુદ્ધ પાણીથી સાફ કરવામાં આવે છે, અને પછી વેફરને અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા નાઇટ્રોજન અને સૂકવણી મશીન દ્વારા ફૂંકવામાં આવે છે અને સૂકવવામાં આવે છે; ડાઉનસ્ટ્રીમ રેડી-ટુ-યુઝ સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર બનાવવા માટે વેફરને સુપર-ક્લીન ચેમ્બરમાં ક્લીન શીટ બોક્સમાં સમાવી લેવામાં આવે છે.

ચિપનું કદ જેટલું મોટું છે, અનુરૂપ ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ અને પ્રક્રિયા તકનીક વધુ મુશ્કેલ છે, અને ડાઉનસ્ટ્રીમ ઉપકરણોની ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા જેટલી ઊંચી છે, તેટલી એકમની કિંમત ઓછી છે.