સામાન્ય TaC કોટેડ ગ્રેફાઇટ ભાગોની તૈયારી પદ્ધતિ

ભાગ/1
CVD (રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન) પદ્ધતિ:
TaCl નો ઉપયોગ કરીને 900-2300℃ પર₅અને CnHm ટેન્ટેલમ અને કાર્બન સ્ત્રોત તરીકે, H₂ રિડ્યુસિંગ વાતાવરણ તરીકે, Ar₂ વાહક ગેસ, રિએક્શન ડિપોઝિશન ફિલ્મ. તૈયાર કોટિંગ કોમ્પેક્ટ, એકસમાન અને ઉચ્ચ શુદ્ધતા છે. જો કે, ત્યાં કેટલીક સમસ્યાઓ છે જેમ કે જટિલ પ્રક્રિયા, ખર્ચાળ ખર્ચ, મુશ્કેલ એરફ્લો નિયંત્રણ અને ઓછી ડિપોઝિશન કાર્યક્ષમતા.
ભાગ/2
સ્લરી સિન્ટરિંગ પદ્ધતિ:
કાર્બન સ્ત્રોત, ટેન્ટેલમ સ્ત્રોત, ડિસ્પર્સન્ટ અને બાઈન્ડર ધરાવતી સ્લરી ગ્રેફાઈટ પર કોટેડ હોય છે અને સૂકાયા પછી ઊંચા તાપમાને સિન્ટર કરવામાં આવે છે. તૈયાર કોટિંગ નિયમિત અભિગમ વિના વધે છે, તેની કિંમત ઓછી છે અને મોટા પાયે ઉત્પાદન માટે યોગ્ય છે. મોટા ગ્રેફાઇટ પર એકસમાન અને સંપૂર્ણ કોટિંગ હાંસલ કરવા, સપોર્ટ ખામીઓ દૂર કરવા અને કોટિંગ બોન્ડિંગ ફોર્સ વધારવા માટે તે શોધવાનું બાકી છે.
ભાગ/3
પ્લાઝ્મા છંટકાવ પદ્ધતિ:
TaC પાવડરને ઉચ્ચ તાપમાને પ્લાઝ્મા આર્ક દ્વારા ઓગાળવામાં આવે છે, હાઇ-સ્પીડ જેટ દ્વારા ઉચ્ચ તાપમાનના ટીપાંમાં અણુકરણ કરવામાં આવે છે અને ગ્રેફાઇટ સામગ્રીની સપાટી પર છાંટવામાં આવે છે. બિન-વેક્યુમ હેઠળ ઓક્સાઇડ સ્તર બનાવવું સરળ છે, અને ઊર્જાનો વપરાશ મોટો છે.

 

આકૃતિ GaN epitaxial ઉગાડવામાં આવેલ MOCVD ઉપકરણ (Veeco P75) માં ઉપયોગ કર્યા પછી વેફર ટ્રે. ડાબી બાજુનું એક TaC સાથે કોટેડ છે અને જમણી બાજુનું એક SiC સાથે કોટેડ છે.

TaC કોટેડગ્રેફાઇટ ભાગો હલ કરવાની જરૂર છે

ભાગ/1
બંધનકર્તા બળ:
TaC અને કાર્બન સામગ્રીઓ વચ્ચે થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને અન્ય ભૌતિક ગુણધર્મો અલગ છે, કોટિંગ બંધન શક્તિ ઓછી છે, તિરાડો, છિદ્રો અને થર્મલ તણાવને ટાળવું મુશ્કેલ છે, અને કોટિંગને વાસ્તવિક વાતાવરણમાં છાલવું સરળ છે જેમાં રોટ અને પુનરાવર્તિત વધતી અને ઠંડક પ્રક્રિયા.
ભાગ/2
શુદ્ધતા:
TaC કોટિંગઉચ્ચ તાપમાનની સ્થિતિમાં અશુદ્ધિઓ અને પ્રદૂષણને ટાળવા માટે અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતાની જરૂર છે, અને સંપૂર્ણ કોટિંગની સપાટી પર અને અંદર મુક્ત કાર્બન અને આંતરિક અશુદ્ધિઓના અસરકારક સામગ્રી ધોરણો અને લાક્ષણિકતા ધોરણો સાથે સંમત થવાની જરૂર છે.
ભાગ/3
સ્થિરતા:
કોટિંગની સ્થિરતા ચકાસવા માટે ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર અને 2300 ℃ ઉપર રાસાયણિક વાતાવરણ પ્રતિકાર એ સૌથી મહત્વપૂર્ણ સૂચક છે. પિનહોલ્સ, તિરાડો, ખૂટતા ખૂણાઓ અને સિંગલ ઓરિએન્ટેશન ગ્રેઇન બાઉન્ડ્રીઝના કારણે કાટરોધક વાયુઓ ગ્રેફાઇટમાં પ્રવેશવા અને ઘૂસી જવા માટે સરળ છે, પરિણામે કોટિંગ સંરક્ષણ નિષ્ફળતામાં પરિણમે છે.
ભાગ/4
ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર:
TaC જ્યારે 500 ℃ થી ઉપર હોય છે ત્યારે Ta2O5 માં ઓક્સિડાઈઝ થવાનું શરૂ કરે છે, અને તાપમાન અને ઓક્સિજનની સાંદ્રતાના વધારા સાથે ઓક્સિડેશન દર ઝડપથી વધે છે. સપાટીનું ઓક્સિડેશન અનાજની સીમાઓ અને નાના અનાજથી શરૂ થાય છે અને ધીમે ધીમે સ્તંભાકાર સ્ફટિકો અને તૂટેલા સ્ફટિકો બનાવે છે, પરિણામે મોટી સંખ્યામાં ગાબડા અને છિદ્રો થાય છે અને કોટિંગ છીનવાઈ જાય ત્યાં સુધી ઓક્સિજન ઘૂસણખોરી તીવ્ર બને છે. પરિણામી ઓક્સાઇડ સ્તર નબળી થર્મલ વાહકતા અને દેખાવમાં વિવિધ રંગો ધરાવે છે.
ભાગ/5
એકરૂપતા અને ખરબચડી:
કોટિંગ સપાટીનું અસમાન વિતરણ સ્થાનિક થર્મલ તાણની સાંદ્રતા તરફ દોરી શકે છે, જે ક્રેકીંગ અને સ્પેલિંગનું જોખમ વધારે છે. વધુમાં, સપાટીની ખરબચડી કોટિંગ અને બાહ્ય વાતાવરણ વચ્ચેની ક્રિયાપ્રતિક્રિયાને સીધી અસર કરે છે, અને ખૂબ ઊંચી ખરબચડી સરળતાથી વેફર અને અસમાન થર્મલ ક્ષેત્ર સાથે ઘર્ષણમાં વધારો કરે છે.
ભાગ/6
અનાજનું કદ:
સમાન અનાજનું કદ કોટિંગની સ્થિરતાને મદદ કરે છે. જો અનાજનું કદ નાનું હોય, તો બોન્ડ ચુસ્ત નથી, અને તે ઓક્સિડાઇઝ્ડ અને કાટખૂણે થવું સરળ છે, પરિણામે અનાજની ધારમાં મોટી સંખ્યામાં તિરાડો અને છિદ્રો થાય છે, જે કોટિંગની રક્ષણાત્મક કામગીરીને ઘટાડે છે. જો અનાજનું કદ ખૂબ મોટું હોય, તો તે પ્રમાણમાં ખરબચડી હોય છે, અને થર્મલ સ્ટ્રેસ હેઠળ કોટિંગ સરળતાથી તૂટી જાય છે.