સેમિકન્ડક્ટર ફીલ્ડમાં સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સનો ઉપયોગ

સેમિકન્ડક્ટર્સ:

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ "ટેક્નોલોજીની એક પેઢી, પ્રક્રિયાની એક પેઢી અને સાધનસામગ્રીની એક પેઢી"ના ઔદ્યોગિક કાયદાને અનુસરે છે અને સેમિકન્ડક્ટર સાધનોનું અપગ્રેડ અને પુનરાવૃત્તિ મોટે ભાગે ચોકસાઇના ભાગોની તકનીકી પ્રગતિ પર આધારિત છે. તેમાંથી, ચોકસાઇવાળા સિરામિક ભાગો સૌથી પ્રતિનિધિ સેમિકન્ડક્ટર ચોકસાઇ ભાગો સામગ્રી છે, જે મુખ્ય સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન લિંક્સની શ્રેણીમાં મહત્વપૂર્ણ એપ્લિકેશન ધરાવે છે જેમ કે રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન, ભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશન, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન અને એચિંગ. જેમ કે બેરિંગ્સ, ગાઈડ રેલ્સ, લાઇનિંગ, ઈલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચક, યાંત્રિક હેન્ડલિંગ આર્મ્સ વગેરે. ખાસ કરીને સાધનસામગ્રીની અંદર, તે સપોર્ટ, રક્ષણ અને ડાયવર્ઝનની ભૂમિકા ભજવે છે.

2023 થી, નેધરલેન્ડ્સ અને જાપાને પણ અંકુશ પર નવા નિયમો અથવા વિદેશી વેપાર હુકમનામું ક્રમિક રીતે જારી કર્યા છે, જેમાં લિથોગ્રાફી મશીનો સહિતના સેમિકન્ડક્ટર સાધનો માટે નિકાસ લાયસન્સ નિયમો ઉમેરવામાં આવ્યા છે અને સેમિકન્ડક્ટર વિરોધી વૈશ્વિકીકરણનો વલણ ધીમે ધીમે ઉભરી આવ્યો છે. સપ્લાય ચેઇનના સ્વતંત્ર નિયંત્રણનું મહત્વ વધુને વધુ અગ્રણી બન્યું છે. સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ભાગોના સ્થાનિકીકરણની માંગનો સામનો કરીને, સ્થાનિક કંપનીઓ સક્રિયપણે ઔદ્યોગિક વિકાસને પ્રોત્સાહન આપી રહી છે. Zhongci Electronics એ હીટિંગ પ્લેટ્સ અને ઈલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચક જેવા ઉચ્ચ-તકનીકી ચોકસાઇવાળા ભાગોના સ્થાનિકીકરણને અનુભવ્યું છે, જે સ્થાનિક સેમિકન્ડક્ટર સાધનો ઉદ્યોગની "અડચણ" સમસ્યાને હલ કરે છે; SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ બેઝ અને SiC એચિંગ રિંગ્સના અગ્રણી સ્થાનિક સપ્લાયર ડેઝી ન્યૂ મટિરિયલ્સે 100 મિલિયન યુઆન વગેરેનું ધિરાણ સફળતાપૂર્વક પૂર્ણ કર્યું છે....
ઉચ્ચ વાહકતા સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટ્સ:

સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પાવર યુનિટ્સ, સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો અને શુદ્ધ ઇલેક્ટ્રિક વાહનો (EVs) અને હાઇબ્રિડ ઇલેક્ટ્રિક વાહનો (HEVs) ના ઇન્વર્ટરમાં થાય છે, અને તેમાં વિશાળ બજાર સંભવિત અને એપ્લિકેશન સંભાવનાઓ છે.

હાલમાં, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીને વ્યાપારી એપ્લિકેશન માટે થર્મલ વાહકતા ≥85 W/(m·K), બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ ≥650MPa અને અસ્થિભંગની કઠિનતા 5~7MPa·m1/2ની જરૂર પડે છે. ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટનું સાચા અર્થમાં મોટા પ્રમાણમાં ઉત્પાદન કરવાની ક્ષમતા ધરાવતી કંપનીઓમાં મુખ્યત્વે તોશિબા ગ્રૂપ, હિટાચી મેટલ્સ, જાપાન ઇલેક્ટ્રિક કેમિકલ, જાપાન મારુવા અને જાપાન ફાઇન સિરામિક્સનો સમાવેશ થાય છે.

સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીઓ પરના સ્થાનિક સંશોધનમાં પણ થોડી પ્રગતિ થઈ છે. સિનોમા હાઇ-ટેક નાઇટ્રાઇડ સિરામિક્સ કંપની લિમિટેડની બેઇજિંગ શાખાની ટેપ-કાસ્ટિંગ પ્રક્રિયા દ્વારા તૈયાર કરાયેલ સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટની થર્મલ વાહકતા 100 W/(m·K); બેઇજિંગ સિનોમા આર્ટિફિશિયલ ક્રિસ્ટલ રિસર્ચ ઇન્સ્ટિટ્યૂટ કો., લિ.એ 700-800MPa ની બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ, ફ્રેક્ચર ટફનેસ ≥8MPa·m1/2, અને થર્મલ વાહકતા ≥80W/(m·K) સાથે સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટ સફળતાપૂર્વક તૈયાર કર્યું છે. સિન્ટરિંગ પદ્ધતિ અને પ્રક્રિયાને ઑપ્ટિમાઇઝ કરીને.